アーク蒸発源のための改変可能な磁気配列

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-548538
公開番号（公開出願番号）：特表2012-517522
出願日： 2009年12月30日
公開日（公表日）： 2012年08月02日
要約：

工具に硬質物質層を生成するためのアーク蒸発源。本発明は、少なくとも1つの電磁コイルと、ターゲット表面に関して可動の永久磁石構造とを有するアーク蒸発源を対象とする。この蒸発源は、酸化物層、窒化物層、または金属層のさまざまな要求事項に合わせて適合化することができる。蒸発するべきターゲットの耐用寿命中のレートの低下は、ターゲット前面に対する永久磁石の適合化された間隔によって一定に保つことができ、もしくは調整することができる。層の粗さとレートとの間の妥協を図ることができる。

請求項（抜粋）：

ターゲット表面およびその上方で磁界を生成するためにターゲットに設けられた磁石構造を備えるアーク蒸発源であって、前記磁石構造は縁部永久磁石とターゲットの後方に配置された少なくとも1つの環状コイルとを含んでおり、巻線によって区切られる該環状コイルの内径は好ましくはターゲットの直径よりも小さいか、またはこれに等しいか、いかなる場合でもこれよりさほど大きくない、そのようなアーク蒸発源において、前記縁部永久磁石はターゲットの表面に対して実質的に垂直方向にターゲットから離れるように変位可能であり、ターゲット表面に対する前記縁部永久磁石の投影はターゲット表面に対する前記環状コイルの投影に比べてターゲット表面の中心部から大きく離れていることを特徴とするアーク蒸発源。

IPC (2件)：

C23C 14/35 , C23C 14/24

FI (2件)：

C23C14/35 B , C23C14/24 F

Fターム (6件)：

4K029BA43 , 4K029BA58 , 4K029CA01 , 4K029DB17 , 4K029DC01 , 4K029DD06

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-231463
特表平3-500469
アーク式イオンプレーティング装置用蒸発源
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-245674 出願人：株式会社不二越

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