特許
J-GLOBAL ID：200903087284197619
磁界発生装置付き真空アークソース
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 仲村 義平
, 堀井 豊
, 野田 久登
, 酒井 將行
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-560974
公開番号（公開出願番号）：特表2006-510803
出願日： 2003年10月30日
公開日（公表日）： 2006年03月30日
要約：
アーク放電が作用する表面を有するターゲットからなり、前記ターゲットは磁界発生装置の作用範囲内に配置され、前記磁界発生装置は反対極性を有する少なくとも2つのマグネットシステムからなると共に、発生する当該磁界の前記表面に対する垂直成分B^が前記表面の大部分にわたって基本的にコンスタントに小さな値を有するかまたはゼロとなるように形成されている真空アークソースならびにその作用方法が開示される。
請求項（抜粋）：
アーク放電が作用する表面を有するターゲットからなり、前記ターゲットは磁界発生装置の作用範囲内に配置されている真空アークソースであって、前記磁界発生装置は反対極性を有する少なくとも2つのマグネットシステムからなると共に、発生する当該磁界の前記表面に対する垂直成分B^が前記表面の大部分にわたって基本的にコンスタントに小さな値を有するかまたはゼロとなるように形成されていることを特徴とする、アークソース。
IPC (3件)：
C23C 14/24
, H01J 37/32
, H05H 1/50
C23C14/24 F
, H01J37/32
, H05H1/50
4K029BA58
, 4K029BA60
, 4K029BC02
, 4K029BD05
, 4K029CA02
, 4K029DB03
, 4K029DB04
, 4K029EA06
