特許
J-GLOBAL ID：201203029879384167
プラズマ発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
青木 篤
, 鶴田 準一
, 伊坪 公一
, 河野 努
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-255999
公開番号（公開出願番号）：特開2012-107281
出願日： 2010年11月16日
公開日（公表日）： 2012年06月07日
要約：
【課題】装置構成を簡単化しつつ、複数の真空チャンバ内に交互にプラズマを発生させることができるプラズマ発生装置を提供する。【解決手段】プラズマ発生装置は、N個の真空チャンバ(2-1〜2-3)の真空チャンバ壁(15-1〜15-3)と一方の極で接続される電源(10)と、所定の周期でパルス信号を出力する発振器(11)と、電源の他方の極及び発振器に対して互いに並列に接続され、電源から供給される電力を用いて増幅したパルス信号を真空チャンバ内に配置されたN個の電極(14-1〜14-3)の何れかへ出力するN個のパルス増幅回路(13-1〜13-3)と、少なくとも(N-1)個のパルス増幅回路と発振器の間にそれぞれ接続され、各時刻において一つのパルス増幅回路にのみパルス信号が入力されるように互いに異なる遅延期間だけパルス信号を遅延させる少なくとも(N-1)個のタイミング生成回路(12-1〜12-3)を有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
2以上であるN個の真空チャンバ(2-1〜2-3)の真空チャンバ壁(15-1〜15-3)と前記真空チャンバ内にそれぞれ配置されるN個の電極(14-1〜14-3)との間に電圧を印加することで前記真空チャンバ内にプラズマを発生させるプラズマ発生装置であって、
前記真空チャンバ壁と一方の極で接続される電源(10)と、
所定の周期でパルス信号を出力する発振器(11)と、
前記電源の他方の極及び前記発振器に対して互いに並列に接続され、かつ、前記電源から供給される電力を用いて前記パルス信号を増幅し、増幅されたパルス信号を前記N個の電極の何れかへ出力するN個のパルス増幅回路(13-1〜13-3)と、
前記N個のパルス増幅回路のうちの少なくとも(N-1)個のパルス増幅回路と前記発振器の間にそれぞれ接続され、前記N個のパルス増幅回路のうちの一つのパルス増幅回路に前記パルス信号が入力されている間、前記N個のパルス増幅回路のうちの他のパルス増幅回路には前記パルス信号が入力されないように、互いに異なる遅延期間だけ前記パルス信号を遅延させる少なくとも(N-1)個のタイミング生成回路(12-1〜12-3)と、
を有することを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (4件)：
C23C 16/503
, H05H 1/24
, H01L 21/31
, C23C 14/38
C23C16/503
, H05H1/24
, H01L21/31 C
, C23C14/38
4K029CA05
, 4K029DC33
, 4K029DC34
, 4K030AA09
, 4K030AA16
, 4K030BA28
, 4K030BB05
, 4K030FA03
, 4K030KA30
, 5F045AA08
, 5F045AA19
, 5F045AB07
, 5F045AC01
, 5F045AC05
, 5F045AC07
, 5F045AC11
, 5F045AC15
, 5F045AC16
, 5F045AC17
, 5F045AC18
, 5F045AE25
, 5F045BB08
, 5F045DP02
, 5F045DQ10
, 5F045DQ14
, 5F045EB02
, 5F045EH09
, 5F045EH12
, 5F045EH19
