特許
J-GLOBAL ID：201203030703933723
多層粘着シート及び電子部品の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小林 義教
, 園田 吉隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-227361
公開番号（公開出願番号）：特開2012-039053
出願日： 2010年10月07日
公開日（公表日）： 2012年02月23日
要約：
【課題】 ダイアタッチフィルムにアクリル酸エステル共重合体を使用した場合でさえも、ピックアップ時における粘着層とダイアタッチフィルムとの間の剥離が容易であり、かくして、ダイシング後の半導体チップのピックアップ作業を容易に行うことができる多層粘着シートを提供する。【解決手段】 基材フィルムと、基材フィルムの一方の面に積層された粘着層と、粘着層の露出面に積層されたダイアタッチフィルムとを有し、粘着層を構成する粘着剤が(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)と紫外線重合性化合物(B)と多官能イソシアネート硬化剤(C)と光重合開始剤(D)とシリコーン重合体(E)を有する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
基材フィルムと、基材フィルムの一方の面に積層された粘着層と、粘着層の露出面に積層されたダイアタッチフィルムとを有し、
粘着層を構成する粘着剤が(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)と紫外線重合性化合物(B)と多官能イソシアネート硬化剤(C)と光重合開始剤(D)とシリコーン重合体(E)とを有し、
(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)が、(メタ)アクリル酸エステル単量体の共重合体、又は、(メタ)アクリル酸エステル単量体とビニル化合物単量体との共重合体のいずれか一方であり、(メタ)アクリル酸エステル単量体とビニル化合物単量体のいずれもが水酸基を有さないものであり、紫外線重合性化合物(B)がウレタンアクリレートオリゴマ(B1)と多官能(メタ)アクリレート(B2)からなり、ウレタンアクリレートオリゴマ(B1)はビニル基を10個以上有し、重量平均分子量Mwが50000以上、かつ、前記重量平均分子量Mwと数平均分子量Mnの比である分散度Mw/Mnが5以上であり、光重合開始剤(D)が水酸基を有し、シリコーン重合体(E)が水酸基を有し、
粘着層を構成する粘着剤において(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)が100質量部、紫外線重合性化合物(B)が5〜200質量部、多官能イソシアネート硬化剤(C)が0.5〜20質量部、光重合開始剤(D)が0.1〜20質量部並びにシリコーン重合体(E)が0.1〜20質量部である多層粘着シート。
IPC (7件)：
H01L 21/52
, C09J 7/02
, C09J 133/06
, C09J 175/04
, C09J 175/14
, C09J 4/00
, H01L 21/301
H01L21/52 E
, C09J7/02 Z
, C09J133/06
, C09J175/04
, C09J175/14
, C09J4/00
, H01L21/78 M
4J004AA01
, 4J004AA10
, 4J004AA11
, 4J004AA14
, 4J004AB01
, 4J004AB07
, 4J004CA01
, 4J004CB03
, 4J004CC02
, 4J004CE01
, 4J004FA04
, 4J004FA05
, 4J004FA08
, 4J040DF031
, 4J040EF221
, 4J040EF281
, 4J040EF291
, 4J040FA131
, 4J040FA291
, 4J040JA09
, 4J040JB07
, 4J040JB09
, 4J040KA13
, 4J040NA20
, 4J040PA32
, 4J040PA42
, 5F047BA21
, 5F047BB03
, 5F047BB19
, 5F047CA01
