特許
J-GLOBAL ID:200903081655198143
多層シートとその製造方法及びこの多層シートを用いた粘着シート
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大島 由美子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-233266
公開番号(公開出願番号):特開2006-264296
出願日: 2005年08月11日
公開日(公表日): 2006年10月05日
要約:
【課題】 半導体ウエハ等の製品を加工する際に使用される粘着シートであり、加工中に半導体ウエハ等を汚染したり破損することがなく、粘着シートの残留応力による製品の反りを小さくすることができる粘着シート及び粘着シートに使用される積層シートを提供すること。 【解決手段】 多層シートは、ウレタンポリマーとビニル系ポリマーとを有効成分として含有する複合フィルムと、この複合フィルムとは異なる材料からなる第一フィルムとを有する多層シートであって、ウレタンポリマーがポリオレフィン系ジオールとポリイソシアネートとを用いて形成される。この多層シートの少なくとも一方の面に粘着剤層を有することにより粘着シートが得られる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
ウレタンポリマーとビニル系ポリマーとを有効成分として含有する複合フィルムと、該複合フィルムとは異なる材料からなる第一フィルムとを有する多層シートであって、前記ウレタンポリマーがポリオレフィン系ジオールとポリイソシアネートとを用いて形成されることを特徴とする多層シート。
IPC (3件):
B32B 27/40
, C09J 7/02
, C09J 201/00
FI (3件):
B32B27/40
, C09J7/02 Z
, C09J201/00
Fターム (46件):
4F100AK01B
, 4F100AK03A
, 4F100AK21A
, 4F100AK25A
, 4F100AK26A
, 4F100AK27A
, 4F100AK29A
, 4F100AK42
, 4F100AK51A
, 4F100AL01A
, 4F100AL05A
, 4F100AL06A
, 4F100BA02
, 4F100BA03
, 4F100BA07
, 4F100BA10A
, 4F100BA10B
, 4F100BA10C
, 4F100BA25
, 4F100EH46
, 4F100EH462
, 4F100EJ08
, 4F100EJ082
, 4F100EJ52
, 4F100EJ522
, 4F100EJ54
, 4F100EJ542
, 4F100GB41
, 4F100JK01
, 4F100JK04
, 4F100JL04
, 4F100JL06
, 4F100JL13C
, 4F100YY00A
, 4J004AB01
, 4J004CA03
, 4J004CA06
, 4J004CB03
, 4J004CC03
, 4J004CD08
, 4J004CE01
, 4J004FA06
, 4J004GA01
, 4J040JA09
, 4J040JB09
, 4J040NA20
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (7件)
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