特許

J-GLOBAL ID：201203031883073278

接着剤積層体、接着フィルム及び接着方法

発明者： 久保 安通史 ,  今井 洋文 ,  田村 弘毅 ,  吉岡 孝広
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-233569
公開番号（公開出願番号）：特開2012-089605
出願日： 2010年10月18日
公開日（公表日）： 2012年05月10日
要約：

【課題】基板を支持体に接着させた後、剥離する際に、基板の表面に成分が残存することを抑制し、かつ高温プロセスにおける沈み込みを防止する。【解決手段】本発明に係る接着剤積層体は、接着性を備えた第1の樹脂を含有する第1の接着剤層と、接着性を備えた第2の樹脂及びフィラーを含有し、上記第1の接着剤層に積層された第2の接着剤層と、により構成される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

接着性を備えた第1の樹脂を含有する第1の接着剤層と、 接着性を備えた第2の樹脂及びフィラーを含有し、上記第1の接着剤層に積層された第2の接着剤層と、により構成されることを特徴とする接着剤積層体。

IPC (6件)：

H01L 21/304 ,  C09J 7/02 ,  C09J 123/00 ,  C09J 157/02 ,  C09J 165/00 ,  C09J 193/04

FI (6件)：

H01L21/304 622J ,  C09J7/02 Z ,  C09J123/00 ,  C09J157/02 ,  C09J165/00 ,  C09J193/04

Fターム (21件)：

4J004AA06 ,  4J004AB01 ,  4J004CE01 ,  4J004FA04 ,  4J004FA05 ,  4J004FA08 ,  4J040BA201 ,  4J040DA001 ,  4J040DA031 ,  4J040DB061 ,  4J040DF021 ,  4J040DN031 ,  4J040JA09 ,  4J040JB09 ,  4J040KA42 ,  4J040NA20 ,  5F057AA21 ,  5F057CA14 ,  5F057DA11 ,  5F057EC13 ,  5F057FA28

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 加熱剥離型粘着テープ・シート及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-278324   出願人：株式会社スリオンテック
• ウエハ加工用テープ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-072954   出願人：古河電気工業株式会社