特許
J-GLOBAL ID：201203034342584805
走査型プローブ顕微鏡及びそのプローブ近接検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人京都国際特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2010060494
公開番号（公開出願番号）：WO2010-150756
出願日： 2010年06月21日
公開日（公表日）： 2010年12月29日
要約：
本発明の走査型プローブ顕微鏡は、試料表面との距離を一定に保持しながら前記試料上を走査する第1及び第2プローブと、これら第1及び第2プローブをそれぞれ保持する水晶振動子と、各水晶振動子の共振周波数とは異なる特定周波数の振動を前記第1プローブ5に付与する変調用発振器とを備える。制御装置は、前記第1及び第2プローブの特定周波数の振動を監視し、この特定周波数の振動の変化から前記第1プローブと前記第2プローブが互いに近接したことを検出し、第1及び第2プローブの駆動を制御する。
請求項（抜粋）：
試料表面との距離を一定に保持しながら前記試料上を走査する第1及び第2プローブを有する走査型プローブ顕微鏡において、
a)試料に対して相対的に前記第1プローブを走査する第1走査手段と、
b)試料に対して相対的に前記第2プローブを走査する第2走査手段と、
c)前記第1プローブ及び第2プローブのいずれか一方に特定周波数の振動を付与する振動付与手段と、
d)前記第1プローブ及び前記第2プローブの前記特定周波数の振動を監視する振動監視手段と、
e)前記第1プローブ及び前記第2プローブの少なくとも一方の振動が変化したことに基づき前記第1プローブと前記第2プローブが互いに近接したことを検出するプローブ近接検出手段と、
f)前記プローブ近接検出手段の検出結果に基づき第1及び第2走査手段を制御する制御手段と
を有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01Q 10/02
, G01Q 60/32
, G01Q 60/18
G01Q10/02 111
, G01Q60/32
, G01Q60/18
