特許
J-GLOBAL ID:201203035073677458

光学センサおよび光学センサの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 上田 邦生 ,  藤田 考晴
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-080318
公開番号(公開出願番号):特開2012-216648
出願日: 2011年03月31日
公開日(公表日): 2012年11月08日
要約:
【課題】小型化・薄型化および信頼性の向上を図り光学特性を良好にする。【解決手段】表面に凹部21を有し周縁に厚さ方向に沿って形成された複数の切欠き25を有するガラス材料からなる略板状のベース20と、ベース20に積層状態に接合され、凹部21を密閉して空洞部23を形成するガラス材料からなる平板状の蓋部30と、蓋部30のベース20に対向する表面に受光部12を対面させて実装されて空洞部23内に収容され、蓋部30を透過して受光部12により受光した光を光電変換する光電変換素子11と、光電変換素子11に接続された素子接続部13Aおよびベース20の切欠き25に対向する位置に配された配線接続部13Bを有する複数の内部配線13と、その配線接続部13Bに一端が接続され、ベース20の外側の表面上に他端が露出するように、切欠き25の表面に沿って配された複数の外部配線15とを備える光学センサ1を提供する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
表面に凹部を有し、周縁に厚さ方向に沿って形成された複数の切欠きを有するガラス材料からなる略板状のベースと、 該ベースの前記表面に積層状態に接合され、前記凹部を密閉して空洞部を形成するガラス材料からなる平板状の蓋部と、 光を受光する受光部を有し、前記蓋部の前記ベースに対向する表面に前記受光部を対面させて実装されて前記空洞部内に収容され、前記蓋部を透過して前記受光部により受光した光を光電変換する光学素子と、 前記蓋部の前記ベースに対向する表面に形成され、前記光学素子に接続された素子接続部および前記ベースの切欠きに対向する位置に配された配線接続部を有する複数の内部配線と、 該内部配線の前記ベースの切欠きに対向する位置に配された前記配線接続部に一端が接続され、前記ベースの前記蓋部とは反対側の表面上に他端が露出するように、前記切欠きの表面に沿って配された複数の外部配線とを備える光学センサ。
IPC (1件):
H01L 31/02
FI (1件):
H01L31/02 B
Fターム (6件):
5F088BA15 ,  5F088BB06 ,  5F088JA03 ,  5F088JA09 ,  5F088JA13 ,  5F088JA20
引用特許:
出願人引用 (9件)
全件表示
審査官引用 (9件)
全件表示

前のページに戻る