特許

J-GLOBAL ID：201203036480850160

ジャイロセンサー、電子機器

発明者： 金本 啓
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 村上 友一 ,  出口 隆弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-113744
公開番号（公開出願番号）：特開2012-242286
出願日： 2011年05月20日
公開日（公表日）： 2012年12月10日
要約：

【課題】小型化を図ったジャイロセンサーを提供することを目的としている。【解決手段】本発明のジャイロセンサー10は、第1検出部42を備えた第1マス部40と、第2検出部22を備えた第2マス部20と、前記第1マス部40を第1軸の方向に振動させる第1駆動部70a,70bと、アンカー部90で固定されている力変換部80と、を備え、前記第1マス部40および前記第2マス部20は、前記力変換部80で接続され、前記力変換部80は、前記アンカー部90を軸として変位して、前記第2マス部20を前記第1軸と平面視で交差する第2軸の方向に振動させることを特徴としている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1検出部を備えた第1マス部と、 第2検出部を備えた第2マス部と、 前記第1マス部を第1軸の方向に振動させる第1駆動部と、 アンカー部で固定されている力変換部と、 を備え、 前記第1マス部および前記第2マス部は、前記力変換部で接続され、 前記力変換部は、前記アンカー部を軸として変位して、前記第2マス部を前記第1軸と平面視で交差する第2軸の方向に振動させることを特徴とするジャイロセンサー。

IPC (2件)：

G01C 19/573 ,  G01C 19/574

FI (2件)：

G01C19/56 233 ,  G01C19/56 247

Fターム (9件)：

2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105BB13 ,  2F105CC11 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD06 ,  2F105CD07 ,  2F105CD13

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 慣性センサ、その駆動方法およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-245515   出願人：ソニー株式会社