特許

J-GLOBAL ID：201203038185978549

プローブユニット

発明者： 丸山 真生 ,  新井 信久 ,  星 誠
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 服部 毅巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-211762
公開番号（公開出願番号）：特開2012-068076
出願日： 2010年09月22日
公開日（公表日）： 2012年04月05日
要約：

【課題】プローブ交換を容易におこなうことができるプローブユニットの提供を目的とする。【解決手段】プローブユニット1は、プランジャホルダ30と、プローブホルダ40を1対備える。プランジャホルダ30は、複数のプランジャ10を保持し、プローブホルダ40は、プランジャ10の各々に対応するプローブ20を複数保持する。プローブ20は、プローブホルダ40の検査対象対向面44から検査対象を臨むようにしてプローブホルダ40に保持される。プローブ20は、ネジやビスなどで固定されることなく、本体部をプローブ保持孔に挿通した状態で、プローブ収納凹室45の底面に載置されるため、プローブユニット1は、極めて容易なプローブ交換作業を可能にする。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

プローブを保持するプローブホルダと、前記プローブと電気的に接触するプランジャを保持するプランジャホルダと、を含むプローブユニットであって、 前記プローブホルダは、検査対象対向面に前記プローブを摺動可能に保持するプローブ保持孔を備え、 前記プローブは、前記プローブ保持孔からの脱落を防止する脱落防止部と、一端に検査対象電極と当接する電極当接部と、他端に前記プランジャと当接するプランジャ当接部と、を備え、 前記プランジャホルダは、前記プランジャを摺動可能に保持するスリーブと、前記プランジャを前記プローブ方向に付勢する付勢部と、を備え、 前記プランジャは、一端に前記プローブと当接するプローブ当接部を備えることを特徴とするプローブユニット。

IPC (3件)：

G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R1/073 D ,  G01R31/26 J ,  H01L21/66 B

Fターム (15件)：

2G003AA10 ,  2G003AG04 ,  2G011AA03 ,  2G011AA15 ,  2G011AB01 ,  2G011AB03 ,  2G011AB07 ,  2G011AC05 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106DD03 ,  4M106DD10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• プリント配線板の検査治具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-131789   出願人：イビデン株式会社
• 通電装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-314518   出願人：ファインメタルゲーエムベーハー
• 特開昭60-142526