特許
J-GLOBAL ID：201203039478315559

パターンマッチング装置、及びコンピュータープログラム

発明者：
長友 渉

長友 渉 について

, 
安部 雄一

安部 雄一 について

, 
中島 啓介

中島 啓介 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (3件)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-039187
公開番号（公開出願番号）：特開2012-177961
出願日： 2011年02月25日
公開日（公表日）： 2012年09月13日
要約：
【課題】本発明は、複数層を含むパターン画像のように、異種の特徴を持つ複数の領域が含まれる画像に対するパターンマッチングを高精度に行うパターンマッチング装置等の提供を目的とする。【解決手段】上記目的を達成するために本発明では、設計データ、或いは撮像画像に基づいて形成されたテンプレートを用いて、対象画像上でパターンマッチングを実行するパターンマッチング装置であって、異なる複数の対象パターンを含む第1のテンプレートを用いて、第1の対象画像に対するパターンマッチングを実行し、第1の対象画像から、特定パターンを含む領域の情報を除外して第2の対象画像を作成し、当該第2の対象画像と、前記特定パターン以外のパターン情報を含む第2のテンプレートとの間の類似度判定を行うパターンマッチング装置を提案する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
設計データ、或いは撮像画像に基づいて形成されたテンプレートを用いて、画像上でパターンマッチングを実行する画像処理部を備えたパターンマッチング装置において、 前記画像処理部は、異なる複数のパターンを含む第1のテンプレートを用いて、第1の対象画像に対するパターンマッチングを実行し、当該第1の対象画像から、複数のパターンの内、特定パターンを含む領域の情報を除外、或いは特定パターンの情報を低減して第2の対象画像を作成し、当該第2の対象画像と、前記特定パターン以外のパターン情報を含む、或いは特定パターンの情報を低減した第2のテンプレート、又は前記第1のテンプレートとの間の類似度判定を行うことを特徴とするパターンマッチング装置。
IPC (3件)：
G06T 7/00 ,  G06T 1/00 ,  G01N 23/225
FI (3件)：
G06T7/00 300D ,  G06T1/00 305B ,  G01N23/225
Fターム (22件)：
2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001GA12 ,  2G001HA13 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  5B057AA03 ,  5B057CE02 ,  5B057CE12 ,  5B057DA12 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC16 ,  5B057DC33 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096BA18 ,  5L096HA07 ,  5L096JA03 ,  5L096JA09 ,  5L096JA13
引用特許：
審査官引用 (3件)

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