光変調素子およびこれを用いた空間光変調器

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：磯野道造 , 多田悦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-237786
公開番号（公開出願番号）：特開2012-088667
出願日： 2010年10月22日
公開日（公表日）： 2012年05月10日
要約：

【課題】透明電極を適用する必要がなく、また、開口率を増大、効率的な偏光変調を行なうことができ、さらに、磁化反転動作を正確に検知できる光変調素子およびこれを用いた空間光変調器を提供する。【解決手段】基板7上に、磁化自由層3、上部中間層21、22、上部磁化固定層11、12とがこの順序で積層された上部素子1Aと、基板7と磁化自由層3との間に形成される下部素子1Bとを備える光変調素子1であって、上部磁化固定層は分離した2つの上部磁化固定層からなり、上部磁化固定層は、互いに反平行な磁化に固定され、かつ磁化自由層よりも保磁力の大きい磁性体であり、下部素子1Bは、補助電極53、下部磁化固定層13、下部中間層23とがこの順序で基板側から積層され、透過した光を磁化自由層3に入射させるための窓部54が形成され、駆動電極の一方と補助電極53との間の電気抵抗は、駆動電極間の電気抵抗に比べて大きい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光を透過させる基板上に形成され、磁化自由層と、上部中間層と、上部磁化固定層とがこの順序で積層された上部素子と、前記基板と前記磁化自由層との間に形成される下部素子とを備えるスピン注入磁化反転素子構造を有し、前記上部素子の上部磁化固定層上に接続した一対の駆動電極間に電流が供給され、前記磁化自由層の磁化方向を変化させることによって前記基板を透過して入射した光をその偏光方向を変化させて回折して出射する光変調素子であって、前記上部素子の上部磁化固定層は、同一平面上に分離した2つの上部磁化固定層からなり、前記2つの上部磁化固定層は、互いに反平行な磁化に固定され、かつ前記磁化自由層よりも保磁力の大きい磁性体であり、前記下部素子は、補助電極と、下部磁化固定層と、下部中間層とがこの順序で前記基板側から積層されたものであり、前記基板側に当該基板を透過した光を前記磁化自由層に入射させるための窓部が形成され、前記駆動電極の一方と前記補助電極との間の電気抵抗は、前記駆動電極間の電気抵抗に比べて大きいことを特徴とする光変調素子。

IPC (3件)：

G02F 1/09 , H01L 43/08 , H01L 29/82

FI (4件)：

G02F1/09 503 , H01L43/08 U , H01L43/08 Z , H01L29/82 Z

Fターム (37件)：

2H079AA03 , 2H079AA13 , 2H079BA02 , 2H079CA02 , 2H079CA22 , 2H079EB17 , 2H079GA05 , 2H079HA03 , 2H079KA05 , 5F092AB10 , 5F092AC08 , 5F092AC12 , 5F092AD03 , 5F092AD23 , 5F092AD25 , 5F092BB05 , 5F092BB17 , 5F092BB22 , 5F092BB23 , 5F092BB31 , 5F092BB33 , 5F092BB35 , 5F092BB36 , 5F092BB38 , 5F092BB42 , 5F092BB43 , 5F092BB53 , 5F092BB55 , 5F092BB81 , 5F092BB82 , 5F092BC03 , 5F092BC07 , 5F092BC12 , 5F092BC13 , 5F092BC43 , 5F092CA09 , 5F092CA25

引用特許：

出願人引用 (5件)

磁気光学式空間光変調器
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-333198 出願人：日本放送協会
磁気抵抗素子ならびにこれを用いた磁気ランダムアクセスメモリおよび空間光変調器
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-077501 出願人：日本放送協会
磁気抵抗効果素子及びMRAM
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-001192 出願人：日本電気株式会社

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引用文献：

出願人引用 (3件)

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