特許

J-GLOBAL ID：201203042872199131

温度制御装置を有する光学アセンブリ

発明者： アルミン シェパッハ ,  ティモ ロイファー
出願人/特許権者： カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
代理人 (3件)： 杉村 憲司 ,  澤田 達也 ,  下地 健一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-527237
公開番号（公開出願番号）：特表2012-503319
出願日： 2009年09月14日
公開日（公表日）： 2012年02月02日
要約：

温度制御装置(19)を用いて、少なくとも1個の光学体(17)を有する光学アセンブリ(16)の温度を制御する。光学体(17)の温度は、熱流に作用されうる少なくとも1つの光学面(18)を用いて制御する。温度制御装置(19)は、光学体 (17)または光学体(17)と熱的に連結した伝熱体から放出された熱流を受けるヒートシンク(20)を有する。ヒートシンク(20)は、光学面(18)の周辺領域(22)に隣接配置する。温度制御装置(19)は、少なくとも1個の加熱体(29)を備える加熱装置(28)を有し、加熱体は、光学体(17)に隣接配置する。加熱体(29)は、物理的な熱橋部(32)を介してヒートシンク(20)に連結する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

少なくとも1個の光学体(17)を有する光学アセンブリ(16)のための温度制御装置(19)であって、前記光学体(17)の温度は、熱流(39)を作用させることのできる少なくとも1つの光学面(18)を用いて制御される、温度制御装置において、 前記光学体(17)または前記光学体(17)に熱的に連結した伝熱体から放出された熱流(21)を受けるヒートシンク(20)、および 前記光学体(17)に隣接配置した少なくとも1個の加熱体(29)を用いて前記光学体(17)の変形を補正する加熱装置(28)、を備える温度制御装置において、 前記ヒートシンク(20)は、前記光学面(18)の周辺領域(22)に隣接配置され、 前記加熱体(29)は、物理的な熱橋部(32)を用いて前記ヒートシンク(20)に連結され、前記加熱体の温度は前記ヒートシンク(20)の温度より高いかまたは同等であることを特徴とする、温度制御装置(19)。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G02B 7/198 ,  G02B 7/182 ,  G03F 7/20

FI (5件)：

H01L21/30 531A ,  G02B7/18 B ,  G02B7/18 Z ,  H01L21/30 516E ,  G03F7/20 503

Fターム (12件)：

2H043CA08 ,  2H043CB03 ,  2H043CD01 ,  2H043CE00 ,  2H097CA15 ,  2H097LA10 ,  5F146DA26 ,  5F146DB02 ,  5F146GA21 ,  5F146GA25 ,  5F146GA27 ,  5F146GB15

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 光学系、及びそれを用いた露光装置、デバイスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-070036   出願人：キヤノン株式会社