基板ホルダーストッカ装置及び基板処理装置並びに該基板ホルダーストッカ装置を用いた基板ホルダー移動方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：岩田今日文 , 瀬戸さより
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-156324
公開番号（公開出願番号）：特開2012-019116
出願日： 2010年07月09日
公開日（公表日）： 2012年01月26日
要約：

【課題】フットプリントを低減できる基板ホルダーストッカ装置を提供する。【解決手段】基板に真空処理を行うプロセスチャンバ内を搬送される基板ホルダーを収納する基板ホルダーストッカチャンバ18は、複数の基板ホルダーをその板厚方向に並べて保持するとともに往復移動する可動式テーブルAと、可動式テーブルAと並設され、複数の前記基板ホルダーその板厚方向を並べて保持するとともに往復移動する可動式テーブルBと、所定位置に停止した可動式テーブルA及び可動式テーブルBのいずれか一方に保持された基板ホルダーを、可動式テーブルA及び可動式テーブルBのいずれか他方に保持させるテーブル間移送機構31とを備えている。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

基板に真空処理を行うプロセスチャンバ内を搬送される基板ホルダーを収納する基板ホルダーストッカ装置であって、前記プロセスチャンバに連結されたチャンバと、前記チャンバ内に設けられ、重力方向と交わる第1の方向に複数の前記基板ホルダーを並べて保持するとともに前記第1の方向に往復移動可能な第1可動保持部と、前記チャンバ内で前記第1可動保持部と並設され、前記第1の方向に複数の前記基板ホルダーを並べて保持するとともに前記第1の方向に往復移動可能な第2可動保持部と、前記チャンバ内に設けられ、所定位置に停止した前記第1可動保持部及び前記第2可動保持部のいずれか一方の所定の保持位置に保持された前記基板ホルダーを、前記第1の方向と直交する方向に移動させて、前記第1可動保持部及び前記第2可動保持部のいずれか他方に保持させるテーブル間移送部と、を備えることを特徴とする基板ホルダーストッカ装置。

IPC (1件)：

H01L 21/677

FI (1件)：

H01L21/68 A

Fターム (30件)：

5F031CA01 , 5F031CA20 , 5F031DA01 , 5F031DA09 , 5F031DA17 , 5F031EA19 , 5F031FA03 , 5F031FA07 , 5F031FA09 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031FA14 , 5F031GA37 , 5F031GA53 , 5F031GA54 , 5F031GA55 , 5F031GA60 , 5F031JA01 , 5F031JA45 , 5F031LA04 , 5F031LA07 , 5F031LA08 , 5F031LA12 , 5F031LA15 , 5F031MA28 , 5F031MA29 , 5F031NA05 , 5F031NA09 , 5F031PA07 , 5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (1件)

成膜装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-355471 出願人：アネルバ株式会社

審査官引用 (1件)

成膜装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-355471 出願人：アネルバ株式会社

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