特許
J-GLOBAL ID:201203044268733580
弾性波素子と、これを用いた電子機器
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
内藤 浩樹
, 永野 大介
, 藤井 兼太郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-167961
公開番号(公開出願番号):特開2012-209980
出願日: 2012年07月30日
公開日(公表日): 2012年10月25日
要約:
【課題】この弾性波素子は良好な温度特性と電気機械結合係数とを有する。【解決手段】弾性波素子は、圧電体と、圧電体の上面上に設けられた第1と第2のインターディジタルトランスデューサ(IDT)電極と、圧電体の上面上に設けられてかつ第1のIDT電極と第2のIDT電極とを覆う第1の誘電体層とを備える。第1のIDT電極の真上方における第1の誘電体層の第1の部分の上面の圧電体の上面からの高さより、第2のIDT電極の真上方における第1の誘電体層の第2の部分の上面の圧電体の上面からの高さが高い。【選択図】図2
請求項(抜粋):
上面を有する圧電体と、
前記圧電体の前記上面上に設けられた第1のインターディジタルトランスデューサ(IDT)電極と、
前記圧電体の前記上面上に設けられた第2のIDT電極と、
前記圧電体の前記上面上に設けられて、かつ前記第1のIDT電極と第2のIDT電極とを覆う第1の誘電体層と、
を備え、
前記第1のIDT電極の真上方における前記第1の誘電体層の第1の部分の上面の前記圧電体の前記上面からの高さより、前記第2のIDT電極の真上方における前記第1の誘電体層の第2の部分の上面の前記圧電体の前記上面からの高さが高い、弾性波素子。
IPC (4件):
H03H 9/72
, H03H 9/145
, H03H 9/64
, H03H 9/25
FI (4件):
H03H9/72
, H03H9/145 C
, H03H9/64 Z
, H03H9/25 A
Fターム (17件):
5J097AA06
, 5J097AA21
, 5J097AA33
, 5J097BB02
, 5J097BB15
, 5J097CC05
, 5J097DD29
, 5J097FF03
, 5J097FF05
, 5J097GG07
, 5J097HA02
, 5J097HA03
, 5J097HA07
, 5J097HA08
, 5J097JJ06
, 5J097KK09
, 5J097KK10
引用特許:
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