特許
J-GLOBAL ID:201203047230232463

回折格子の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 藤元 亮輔 ,  水本 敦也 ,  平山 倫也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-151277
公開番号(公開出願番号):特開2012-145908
出願日: 2011年07月07日
公開日(公表日): 2012年08月02日
要約:
【課題】CdTeまたはCdZnTeの結晶材料からなるブレーズ型回折格子の格子溝を精度良く機械加工すること【解決手段】CdTeまたはCdZnTeの結晶材料からなるブレーズ型回折格子10の製造方法は、加工機20による機械加工によって被加工物Wの被加工面に複数の格子溝17を形成して前記ブレーズ型回折格子を形成するステップ(S150)と、形成ステップによって形成される各格子の三角形の断面形状の短辺11を有する面16が結晶方位である(110)面となるように加工機20に被加工物を搭載するステップ(S140)と、を有する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
入射光を回折させ、CdTeまたはCdZnTeの結晶材料からなるブレーズ型回折格子の製造方法であって、 加工機による機械加工よって被加工物の被加工面に複数の格子溝を形成して前記ブレーズ型回折格子を形成するステップと、 前記形成するステップによって形成される各格子を構成する面のうち前記入射光を最も多く受光する面が前記結晶の結晶方位である(110)面となるように前記加工機に前記被加工物を搭載するステップと、 を有することを特徴とするブレーズ型回折格子の製造方法。
IPC (1件):
G02B 5/18
FI (1件):
G02B5/18
Fターム (5件):
2H249AA03 ,  2H249AA13 ,  2H249AA32 ,  2H249AA44 ,  2H249AA63
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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