特許
J-GLOBAL ID：201203048764007356
静電型アクチュエータ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人サクラ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-153326
公開番号（公開出願番号）：特開2012-044859
出願日： 2011年07月11日
公開日（公表日）： 2012年03月01日
要約：
【課題】複数のくし歯型電極を有する固定子及び移動子からなる静電型アクチュエータにおいて、動作速度の低下及び効率の低下を抑制する。【解決手段】複数の第1のくし歯型電極を有する固定子と、複数の第2のくし歯型電極を有する移動子とを具え、前記固定子の前記複数の第1のくし歯型電極の凸部及び凹部と、前記移動子の前記複数の第2のくし歯型電極の凸部及び凹部とは、それぞれの中心部が電極の配列方向に沿って所定のピッチで互いに離隔して対向配置され、前記複数の第1のくし歯型電極の前記凸部の外周面、及び/又は前記複数の第1のくし歯型電極の前記凹部の外周面は、比誘電率が300以上の高誘電体からなる絶縁層で被覆するようにして静電型アクチュエータを構成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数の第1のくし歯型電極を有する固定子と、複数の第2のくし歯型電極を有する移動子とを具え、
前記固定子の前記複数の第1のくし歯型電極の凸部及び凹部と、前記移動子の前記複数の第2のくし歯型電極の凸部及び凹部とは、それぞれの中心部が電極の配列方向に沿って所定のピッチで互いに離隔して対向配置され、
前記複数の第1のくし歯型電極の前記凸部及び前記複数の第2のくし歯型電極の前記凸部の少なくとも一方の外周面、及び/又は前記複数の第1のくし歯型電極の前記凹部の外周面には、比誘電率が300以上の高誘電体からなる絶縁層が形成されていることを特徴とする、静電型アクチュエータ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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