特許
J-GLOBAL ID：201203049669799250

圧電素子、圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッド、および液体噴射装置

発明者：
中山 雅夫

中山 雅夫 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄 ,  永田 美佐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-151681
公開番号（公開出願番号）：特開2012-015388
出願日： 2010年07月02日
公開日（公表日）： 2012年01月19日
要約：
【課題】信頼性の高い圧電素子を提供する。【解決手段】本発明に係る圧電素子100は、第1電極20と、第1電極20の上方に形成された圧電体30と、圧電体30の上方に形成された第2電極40と、圧電体30を構成する少なくとも一つの金属元素を含有する多孔質体50と、を含み、圧電体30は、第1電極20と第2電極40との間の距離を厚さとして有し、第1電極20と第2電極40とで挟まれた第1部分32と、第1部分32とは、第1部分32の膜厚方向と直交する方向において連続し、第1部分32の厚さより小さい厚さを有する第2部分34と、を有し、多孔質体50は、第2部分34と第2電極40との間に形成され、多孔質体50は、第1部分32に近づくにつれて、厚さが小さくなる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1電極と、 前記第1電極の上方に形成された圧電体と、 前記圧電体の上方に形成された第2電極と、 前記圧電体を構成する少なくとも一つの金属元素を含有する多孔質体と、 を含み、 前記圧電体は、 前記第1電極と前記第2電極との間の距離を厚さとして有し、前記第1電極と前記第2電極とで挟まれた第1部分と、 前記第1部分とは、前記第1部分の膜厚方向と直交する方向において連続し、前記第1部分の厚さより小さい厚さを有する第2部分と、 を有し、 前記多孔質体は、前記第2部分と前記第2電極との間に形成され、 前記多孔質体は、前記第1部分に近づくにつれて、厚さが小さくなる、圧電素子。
IPC (7件)：
H01L 41/22 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  B05C 5/00
FI (7件)：
H01L41/22 Z ,  B41J3/04 103A ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101Z ,  B05C5/00 101
Fターム (11件)：
2C057AF65 ,  2C057AG39 ,  2C057AG44 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA34
引用特許：
審査官引用 (2件)

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