特許
J-GLOBAL ID:200903039939382436
積層型圧電素子及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
高橋 祥泰
, 岩倉 民芳
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-027162
公開番号(公開出願番号):特開2005-223013
出願日: 2004年02月03日
公開日(公表日): 2005年08月18日
要約:
【課題】長期間に渡ってクラック等のトラブルを生じるおそれが少ない耐久性の高い積層型圧電素子及びその製造方法を提供すること。【解決手段】積層型圧電素子は、セラミック層11と内部電極層12とを交互に積層してなるセラミック積層体10と、セラミック積層体10の外周面に形成した一対の接合面15にそれぞれ接合した一対の外部電極とを有するものである。内部電極層12は、導電性を有する内部電極部120と、内部電極部120の外周端部が外周面よりも内方に控えた控え部129とを有してなる。そして、セラミック積層体10は、少なくとも一部の内部電極層12に沿って、セラミック層11に比べて弾性変形し易い応力緩和部13を有してなる。この応力緩和部13は、セラミック積層体10の積層方向において、いずれかの内部電極層12の控え部129に重合するように配置してある。【選択図】図1
請求項(抜粋):
セラミック層と内部電極層とを交互に積層してなるセラミック積層体と、該セラミック積層体の外周面に形成した一対の接合面にそれぞれ接合した一対の外部電極とを有する積層型圧電素子において、
上記内部電極層は、導電性を有する内部電極部と、該内部電極部の外周端部が上記セラミック積層体の外周面よりも内方に控えた控え部とを有してなり、
上記セラミック積層体は、少なくとも一部の上記内部電極層と積層方向に隣接して、上記セラミック層よりも形状を容易に変化し得る応力緩和部を有してなり、
該応力緩和部は、上記セラミック積層体の積層方向において、いずれかの上記内部電極層の上記控え部に重合するように配置してあることを特徴とする積層型圧電素子。
IPC (3件):
H01L41/083
, H01L41/187
, H01L41/22
FI (4件):
H01L41/08 S
, H01L41/08 Q
, H01L41/18 101D
, H01L41/22 Z
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (7件)
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