精密フィルターユニットの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：渡辺望稔 , 三和晴子 , 伊東秀明 , 三橋史生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-016418
公開番号（公開出願番号）：特開2012-081473
出願日： 2012年01月30日
公開日（公表日）： 2012年04月26日
要約：

【課題】耐圧性に優れ、濾過流量が向上した、ポーラスアルミナメンブレンフィルターを用いた精密フィルターユニットの製造方法の提供。【解決手段】アルミニウムの陽極酸化皮膜からなり、規則化度が50%以上であり、かつ、孔径の標準偏差が平均孔径の10%以内であるマイクロポアを有し、少なくとも、(a)アルミニウム基板の表面にマイクロポアを有する陽極酸化皮膜を形成する工程、(b)陽極酸化皮膜を部分的に溶解させる工程、(c)マイクロポアを深さ方向に成長させる工程、(d)マイクロポアの断面形状の変曲点よりも上方の陽極酸化皮膜を除去する工程をこの順に施すことにより、アルミニウム基板表面にマイクロポアを有する酸化皮膜を形成する陽極酸化処理と、前記酸化皮膜をアルミニウム基板から分離する分離処理と、前記酸化皮膜のマイクロポアを貫通させる貫通化処理と、をこの順に施すことにより形成されるポーラスアルミナメンブレンフィルターと、前記ポーラスアルミナメンブレンフィルターの少なくとも片側の表面に接する孔状素材であって、平均孔径が500nm〜10mmであり、単位面積あたりの開孔面積が前記ポーラスアルミナメンブレンフィルターの単位面積あたりの開孔面積よりも広く、かつ、ヤング係数が660MPaよりも大きい孔状素材と、を少なくとも具備する精密フィルターユニットの製造方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

アルミニウムの陽極酸化皮膜からなり、下記式(1)により定義される規則化度が50%以上であり、かつ、孔径の標準偏差が平均孔径の10%以内であるマイクロポアを有し、少なくとも、下記(a)〜(d)の工程をこの順に施すことにより、アルミニウム基板表面にマイクロポアを有する酸化皮膜を形成する陽極酸化処理 (a)アルミニウム基板の表面を陽極酸化して、前記アルミニウム基板の表面にマイクロポアを有する陽極酸化皮膜を形成する工程; (b)酸またはアルカリを用いて、前記陽極酸化皮膜を部分的に溶解させる工程; (c)陽極酸化処理を実施して前記マイクロポアを深さ方向に成長させる工程; (d)前記マイクロポアの断面形状の変曲点よりも上方の陽極酸化皮膜を除去する工程と、前記陽極酸化処理後にアルミニウム基板を除去し、前記酸化皮膜をアルミニウム基板から分離する分離処理と、前記分離処理により分離された酸化皮膜のマイクロポアを貫通させる貫通化処理と、をこの順に施すことにより形成されるポーラスアルミナメンブレンフィルターと、前記ポーラスアルミナメンブレンフィルターの少なくとも片側の表面に接する孔状素材であって、平均孔径が500nm〜10mmであり、単位面積あたりの開孔面積が前記ポーラスアルミナメンブレンフィルターの単位面積あたりの開孔面積よりも広く、かつ、ヤング係数が660MPaよりも大きい孔状素材と、を少なくとも具備する精密フィルターユニットの製造方法。規則化度(%)=B/A×100 (1) 前記式(1)中、Aは、測定範囲におけるマイクロポアの全数を表す。Bは、一のマイクロポアの重心を中心とし、他のマイクロポアの縁に内接する最も半径が短い円を描いた場合に、その円の内部に前記一のマイクロポア以外のマイクロポアの重心を6個含むことになる前記一のマイクロポアの測定範囲における数を表す。

IPC (3件)：

B01D 71/02 , B01D 61/18 , B01D 63/00

FI (3件)：

B01D71/02 , B01D61/18 , B01D63/00 510

Fターム (14件)：

4D006GA07 , 4D006JA03A , 4D006JA03B , 4D006JA03C , 4D006MA10 , 4D006MA22 , 4D006MA23 , 4D006MA40 , 4D006MB01 , 4D006MB16 , 4D006MC03X , 4D006NA50 , 4D006NA51 , 4D006NA54

引用特許：

出願人引用 (5件)

特表平5-500468
特開平2-149698
特開昭59-213402

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