特許
J-GLOBAL ID：201203052295491702
位置計測方法、位置制御方法、露光装置、及びデバイス製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-016375
公開番号（公開出願番号）：特開2012-084927
出願日： 2012年01月30日
公開日（公表日）： 2012年04月26日
要約：
【課題】位置計測用のマークが存在しない移動体の位置を管理することを可能にする。【解決手段】 所定形状のプレート50が着脱可能に搭載された移動体WSTの位置をその移動座標系を規定する計測装置18等で計測しつつ、プレート50の一部をアライメント系ALGで検出するとともにその検出結果と対応する前記計測装置の計測結果とに基づいてプレート50の外周エッジの位置情報を取得する。このため、その移動体WST上に位置計測用のマーク(基準マーク)などが存在しなくても、プレートの外周エッジの位置情報に基づいて、プレートの位置、すなわち移動体の位置を前記計測装置で規定される移動座標系上で管理することが可能になる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
移動体上に着脱可能に搭載された所定形状のプレートの位置情報を計測する位置計測方法であって、
前記移動体の位置をその移動座標系を規定する計測装置で計測しつつ、前記プレートの一部を検出するとともにその検出結果と対応する前記計測装置の計測結果とに基づいて前記プレートの外周エッジの位置情報を取得する外周エッジ位置取得工程を含む位置計測方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (1件)：
引用特許：
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