特許

J-GLOBAL ID：201203053690594100

酸化亜鉛焼結体の製造方法

発明者： 石田 弘徳 ,  小倉 知之 ,  井口 真仁 ,  深澤 健一
出願人/特許権者： 太平洋セメント株式会社 ,  株式会社日本セラテック
代理人 (1件)： 特許業務法人創成国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-016621
公開番号（公開出願番号）：特開2012-153592
出願日： 2011年01月28日
公開日（公表日）： 2012年08月16日
要約：

【課題】局所的なそりあがりが軽減または解消された、酸化亜鉛を含有する焼結体を製造する方法を提供する。【解決手段】セッター3に載置されている成形体2と、左右それぞれのヒーター1との間に、アルミナ、マグネシアまたはジルコニア質等からなる遮蔽物4が設置される。成形体2と遮蔽物4との間隔dは10[mm]以上に調節されることが好ましい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

酸化亜鉛を含有する原料粉末の成形体を焼成することにより焼結体を製造する方法であって、前記成形体と、焼結炉のヒーターとの間に遮蔽物が配置されている状態で前記成形体を焼成することを特徴とする方法。

IPC (4件)：

C04B 35/453 ,  C04B 35/64 ,  C23C 14/34 ,  H01L 31/04

FI (5件)：

C04B35/00 P ,  C04B35/64 H ,  C23C14/34 A ,  H01L31/04 H ,  H01L31/04 M

Fターム (15件)：

4G030AA32 ,  4G030AA36 ,  4G030BA02 ,  4G030BA15 ,  4G030GA04 ,  4G030GA05 ,  4G030GA11 ,  4G030GA22 ,  4G030GA27 ,  4G030GA31 ,  4K029BC09 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  5F151FA02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 脱脂炉
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-154951   出願人：株式会社島津製作所
• セラミックヒータとその製造方法及びこれを用いたウェハ加熱装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-018004   出願人：京セラ株式会社