特許

J-GLOBAL ID：201203053871233907

測定装置および基板検査装置

発明者： 竹内 悟朗
出願人/特許権者： 日置電機株式会社
代理人 (1件)： 酒井 伸司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-151587
公開番号（公開出願番号）：特開2012-013590
出願日： 2010年07月02日
公開日（公表日）： 2012年01月19日
要約：

【課題】電気的パラメータを短時間で正確に測定する。【解決手段】測定部2が、測定対象体100についての電気的パラメータを四端子法に従って測定する際には、短絡スイッチ4,5の双方が切断された状態において測定処理を実行して、プローブ11〜14を利用して電気的パラメータを測定し、測定対象体100についての電気的パラメータを二端子法に従って測定する際には、短絡スイッチ4,5の双方が接続された状態において測定処理を実行して、プローブ11,13の少なくとも一方と、プローブ12,14の少なくとも一方とを利用して電気的パラメータを測定する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1プローブ、第2プローブ、第3プローブおよび第4プローブと、 前記第1プローブおよび前記第3プローブを短絡させる第1のスイッチ回路と、 前記第2プローブおよび前記第4プローブを短絡させる第2のスイッチ回路と、 前記第1プローブおよび前記第3プローブが測定対象体における一対の測定点の一方にプロービングされる共に前記第2プローブおよび前記第4プローブが前記一対の測定点の他方にプロービングされた状態において、当該両測定点間に測定電圧を印加すると共に当該両測定点間の電圧を測定し、当該両測定点間を流れる電流および測定した電圧に基づいて前記測定対象体についての電気的パラメータを測定する測定処理を実行する測定部とを備え、 前記測定部は、前記電気的パラメータを四端子法に従って測定する際には、前記第1のスイッチ回路および前記第2のスイッチ回路の双方が切断された状態において前記測定処理を実行して、前記第1プローブ、前記第2プローブ、前記第3プローブおよび前記第4プローブを利用して当該電気的パラメータを測定し、前記電気的パラメータを二端子法に従って測定する際には、前記第1のスイッチ回路および前記第2のスイッチ回路の双方が接続された状態において前記測定処理を実行して、前記第1プローブおよび前記第3プローブの少なくとも一方と、前記第2プローブおよび前記第4プローブの少なくとも一方とを利用して当該電気的パラメータを測定する測定装置。

IPC (3件)：

G01R 31/02 ,  G01R 27/02 ,  H05K 3/00

FI (3件)：

G01R31/02 ,  G01R27/02 R ,  H05K3/00 T

Fターム (14件)：

2G014AA02 ,  2G014AA13 ,  2G014AA14 ,  2G014AB59 ,  2G014AC10 ,  2G028AA04 ,  2G028BC01 ,  2G028BF10 ,  2G028CG02 ,  2G028DH03 ,  2G028FK01 ,  2G028FK02 ,  2G028HN11 ,  2G028HN13

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 回路基板検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-125123   出願人：日置電機株式会社