特許
J-GLOBAL ID:201203054021905228
保護された読み出し電極アセンブリ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
勝沼 宏仁
, 佐藤 泰和
, 川崎 康
, 関根 毅
, 赤岡 明
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-549436
公開番号(公開出願番号):特表2012-517599
出願日: 2009年02月12日
公開日(公表日): 2012年08月02日
要約:
アバランシェ粒子検出器の読み出し電極アセンブリは、読み出しパッドの上側の誘電体カバー層中に形成される複数のレジスタパッドにより、スパークおよび放電から効果的に防御することができる。レジスタパッドは、読み出しパッドに直接に接続されてもよく、あるいは、誘電体カバー層に埋め込まれる電荷拡散パッドにより容量結合されて、読み出しパッドから空間的に分離されてもよい。電荷拡散パッドは、隣接する読み出しパッドへ電荷を分配でき、そのため、検出装置の空間分解能を高めることができる。
請求項(抜粋):
アバランシェ粒子検出器用の読み出し電極アセンブリ(10)であって、
複数の読み出しパッド(12)と、
前記読み出しパッド(12)上及び/または前記読み出しパッド(12)間に形成される絶縁層(20)と、
前記読み出しパッド(12)よりも上側で前記絶縁層(20)中に形成される複数のレジスタパッド(24)と、
を備える読み出し電極アセンブリ(10)。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (4件):
2G088GG03
, 2G088JJ31
, 2G088KK16
, 2G088KK35
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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