特許
J-GLOBAL ID：201203054650783534

クーラント回収システム

発明者：
津川 哲哉

津川 哲哉 について

, 
村上 公彦

村上 公彦 について


出願人/特許権者：
巴工業株式会社

巴工業株式会社 について


代理人 (3件)： 水野 勝文 ,  岸田 正行 ,  高木 康志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-159639
公開番号（公開出願番号）：特開2012-020365
出願日： 2010年07月14日
公開日（公表日）： 2012年02月02日
要約：
【課題】ワイヤソーからの廃液を処理するにあたり、クーラントの再利用率を90%以上に高めることのできるクーラント回収システムを提供する【解決手段】固定砥粒ワイヤソーの廃液からクーラントを回収するシステムであって、切削屑とクーラントを含む廃液を受け入れる濃度調整タンクと、濃度調整タンクに貯留された廃液を遠心分離機に供給する送液ポンプと、送液ポンプによって供給される廃液を遠心力の作用で重液と軽液とに分離し、切削屑を含む重液を系外に排出する一方で、軽液を濃度調整タンクに戻す遠心分離機と、濃度調整タンクに貯留された廃液をフィルターに供給する循環ポンプと、循環ポンプによって供給される廃液をクロスフローろ過方式で重液と軽液とに分離し、重液を濃度調整タンクに戻す一方で、軽液を再生クーラントとして再生クーラントタンクに供給するフィルターと、を含むようにする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
固定砥粒ワイヤソーの廃液からクーラントを回収するシステムであって、 切削屑とクーラントを含む廃液を受け入れる濃度調整タンクと、 前記濃度調整タンクに貯留された廃液を遠心分離機に供給する送液ポンプと、 前記送液ポンプによって供給される廃液を遠心力の作用で重液と軽液とに分離し、切削屑を含む重液を系外に排出する一方で、軽液を前記濃度調整タンクに戻す遠心分離機と、 前記濃度調整タンクに貯留された廃液をフィルターに供給する循環ポンプと、 前記循環ポンプによって供給される廃液をクロスフローろ過方式で重液と軽液とに分離し、重液を前記濃度調整タンクに戻す一方で、軽液を再生クーラントとして再生クーラントタンクに供給するフィルターと、を備えたことを特徴とするクーラント回収システム。
IPC (3件)：
B24B 55/12 ,  B24B 27/06 ,  H01L 21/304
FI (3件)：
B24B55/12 ,  B24B27/06 D ,  H01L21/304 611W
Fターム (13件)：
3C047GG14 ,  3C047GG17 ,  3C047GG18 ,  3C058AA07 ,  3C058AC04 ,  3C058CB05 ,  3C058DA03 ,  5F057AA43 ,  5F057BA01 ,  5F057BB03 ,  5F057CA02 ,  5F057DA15 ,  5F057FA44
引用特許：
審査官引用 (2件)

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