特許
J-GLOBAL ID：201203058604205530
可変形鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
曾我 道治
, 鈴木 憲七
, 梶並 順
, 大宅 一宏
, 上田 俊一
, 吉田 潤一郎
, 飯野 智史
, 武井 義一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-155472
公開番号（公開出願番号）：特開2012-018290
出願日： 2010年07月08日
公開日（公表日）： 2012年01月26日
要約：
【課題】高分解能で鏡面変位を操作することが可能でありながら、鏡面を変歪させる際の過大な応力によって鏡を破損することを防止できる可変形鏡を提供すること。【解決手段】可変形鏡は、変形可能な弾性体の鏡1と、鏡の裏面に接続され、鏡の変形を行う複数の駆動機構ユニット2とを備える。駆動機構ユニットのそれぞれは、ユニット移動端4と、ユニット固定端5と、アクチュエータ3と、第一の弾性体6及び第二の弾性7とを含む。第一の弾性体は、その一端がユニット移動端に接続され、他端がユニット固定端に接続されている。第二の弾性体は、その一端がアクチュエータの可動端に接続されており、他端がユニット移動端に接続されている。第一の弾性体の剛性は、第二の弾性体の剛性よりも高い。弾性体の鏡は、第一の弾性体と、第二の弾性体と、弾性体の鏡との三者の剛性の組み合わせによって定まるユニット移動端の移動によって変形される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
変形可能な弾性体の鏡と、
前記鏡の裏面に接続され、該鏡の変形を行う複数の駆動機構ユニットとを備え、
前記駆動機構ユニットのそれぞれは、ユニット移動端と、ユニット固定端と、アクチュエータと、第一の弾性体及び第二の弾性体とを含み、
前記第一の弾性体は、その一端が前記ユニット移動端に接続され、他端が前記ユニット固定端に接続されており、
前記第二の弾性体は、その一端が前記アクチュエータの可動端に接続されており、他端が前記ユニット移動端に接続されており、
前記第一の弾性体の剛性は、前記第二の弾性体の剛性よりも高く、
前記第一の弾性体と、前記第二の弾性体と、前記弾性体の鏡との三者の剛性の組み合わせによって定まる前記ユニット移動端の移動によって前記鏡が弾性変形される
可変形鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
2H042DD13
, 2H042DE09
, 2H141MA27
, 2H141MB23
, 2H141MB56
, 2H141MC04
, 2H141MD02
, 2H141MF02
, 2H141MF08
