圧電振動型力センサ及びロボットハンド並びにロボットアーム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：近島一夫 , 阪本善朗 , 大田隆史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-019708
公開番号（公開出願番号）：特開2012-185153
出願日： 2012年02月01日
公開日（公表日）： 2012年09月27日
要約：

【課題】検出感度を低下させることなく、容易に圧電体を実装可能な圧電振動型力センサを提供すること。【解決手段】中空貫通孔33を有する円板状の圧電体30及び圧電体30の両面に取り付けられた一対の駆動電極31,32を有し、一対の駆動電極31,32に交流電圧を印加することにより圧電体30の半径方向に振動する振動体3と、振動体3の一方側の面に当接する基板4と、振動体3の他方側の面に接触して配設され、外部から加えられた力を弾性変形して振動体3に伝えるダンピング部材6と、中空貫通孔33よりも大径に形成され振動体3の他方側の面に当接する当接部50及び中空貫通孔33に遊嵌する遊嵌部52を有し、当接部50及び遊嵌部52を基板4に係着することで振動体3の振動方向及び振動方向と直交する方向の移動を規制して位置決めする保持部材5と、を備えた。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

中空貫通孔を有する環状の圧電体及び該圧電体の両面に取り付けられた一対の駆動電極を有し、前記一対の駆動電極に交流電圧を印加することにより前記圧電体の拡がり方向に振動する振動体と、前記振動体の一方側の面に当接する基板と、前記振動体の他方側の面に接触して配設され、外部から加えられた力を弾性変形して前記振動体に伝える弾性部材と、前記中空貫通孔よりも大きく形成され前記振動体の前記他方側の面に当接する当接部及び前記中空貫通孔に遊嵌する遊嵌部を有し、前記遊嵌部が前記基板に係着された保持部と、前記一対の駆動電極に交流電圧を印加する一対の信号電極と、を備えた、ことを特徴とする圧電振動型力センサ。

IPC (7件)：

G01L 1/00 , H01L 41/08 , H01L 41/18 , H01L 41/187 , H01L 41/193 , H01L 41/22 , H01L 41/26

FI (8件)：

G01L1/00 C , H01L41/08 Z , H01L41/18 101A , H01L41/18 101B , H01L41/08 H , H01L41/18 102 , H01L41/22 B , H01L41/22 C

引用特許：

出願人引用 (5件)

特公平6-103234
特許第4677493号
特公平3-056428

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