特許
J-GLOBAL ID：201203068784171340

処理装置の異常診断方法及びその異常診断システム

発明者：
小沢 誠司

小沢 誠司 について

, 
中村 直人

中村 直人 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-010069
公開番号（公開出願番号）：特開2012-150721
出願日： 2011年01月20日
公開日（公表日）： 2012年08月09日
要約：
【課題】異常原因である故障原因の特定を容易にすると共に、その精度を向上することができる処理装置の異常診断方法及びその異常診断システムを提供すること。【解決手段】被処理体を処理する処理装置に設置される処理プロセスを監視するセンサによって出力される信号から収集された時間と共に変動する時系列データが、複数の判定条件に合致するか否かを判定すると共に、その判定結果の組み合わせからなる判定データを作成する判定データ作成ステップ(ステップM2)と、判定データを、異常原因毎に発生する時系列データの特有な変動傾向に基づいて予め設定されると共に、判定データに対応するモデルデータと照合して異常原因を推定する診断ステップ(ステップM3)と、ステップM3による照合が不一致だった場合、モデルデータを変更して照合する第1の再診断ステップ(ステップM6)とを具備する。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
被処理体を処理する処理装置に設置される処理プロセスを監視するセンサによって出力される信号から収集された時間と共に変動する時系列データが、複数の判定条件に合致するか否かを判定すると共に、その判定結果の組み合わせからなる判定データを作成する判定データ作成ステップと、 上記判定データを、異常原因毎に発生する時系列データの特有な変動傾向に基づいて予め設定されると共に、上記判定データに対応するモデルデータと照合して異常原因を推定する診断ステップと、 を具備することを特徴とする処理装置の異常診断方法。
IPC (1件)：
G05B 23/02
FI (1件)：
G05B23/02 302Y
Fターム (5件)：
5H223AA05 ,  5H223BB01 ,  5H223DD03 ,  5H223EE06 ,  5H223FF05
引用特許：
審査官引用 (4件)
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