特許
J-GLOBAL ID：201203071801491915

固体撮像装置、および、その製造方法、電子機器

発明者：
榎本 貴幸

榎本 貴幸 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-040531
公開番号（公開出願番号）：特開2012-178457
出願日： 2011年02月25日
公開日（公表日）： 2012年09月13日
要約：
【課題】「混色」の発生などを防止して、撮像画像の画像品質を向上させる。【解決手段】第1トレンチTR1と、半導体基板101において第1トレンチよりも浅い部分において、第1トレンチTR1よりも幅が広い第2トレンチTR2とを、トレンチTRとして形成する。そして、第1トレンチTR1の内部を埋め込むと共に、第2トレンチTR2の内側の面を被覆するようにピニング層311を形成する。そして、少なくともピニング層311を介して第2トレンチTR2の内部を埋め込むように、遮光層313を形成する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
半導体基板の内部において複数の画素のそれぞれに対応して複数が設けられており、入射光を受光面で受光する光電変換部と、 前記半導体基板の内部において前記複数の画素の間に設けられており、前記複数の画素の間を電気的に分離する画素分離部と を有し、 前記画素分離部には、前記半導体基板にて前記入射光が入射する入射面の側において、前記光電変換部の側部に設けられたトレンチの内部に、ピニング層と遮光層とが少なくとも設けられており、 前記トレンチは、 第1トレンチと、 前記半導体基板にて前記第1トレンチよりも浅い部分において、前記第1トレンチよりも幅が広くなるように形成されている第2トレンチと を含み、 前記ピニング層は、前記第1トレンチの内部に形成されると共に前記第2トレンチの内側の面を被覆するように形成され、 前記遮光層は、少なくとも前記ピニング層を介して前記第2トレンチの内部を埋め込むように形成されている、 固体撮像装置。
IPC (3件)：
H01L 27/146 ,  H04N 5/369 ,  H04N 5/374
FI (3件)：
H01L27/14 A ,  H04N5/335 690 ,  H04N5/335 740
Fターム (30件)：
4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA02 ,  4M118CA04 ,  4M118DD04 ,  4M118DD12 ,  4M118EA01 ,  4M118EA14 ,  4M118FA06 ,  4M118FA25 ,  4M118FA26 ,  4M118FA27 ,  4M118FA28 ,  4M118FA33 ,  4M118GA02 ,  4M118GB02 ,  4M118GB06 ,  4M118GB07 ,  4M118GB11 ,  4M118GC07 ,  4M118GC08 ,  4M118GC14 ,  4M118GD03 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024AX01 ,  5C024CX11 ,  5C024CY47 ,  5C024EX52 ,  5C024GX03
引用特許：
審査官引用 (3件)

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