特許
J-GLOBAL ID：201203071854224420

回折光学素子及び計測装置

発明者：
宮坂 浩司

宮坂 浩司 について

, 
野村 琢治

野村 琢治 について


出願人/特許権者：
旭硝子株式会社

旭硝子株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-246518
公開番号（公開出願番号）：特開2012-098548
出願日： 2010年11月02日
公開日（公表日）： 2012年05月24日
要約：
【課題】均一で安定性の高い光スポットを発生させる回折光学素子を提供する。【解決手段】複数の基本ユニットが2次元的に配列されている第1の回折素子と、複数の基本ユニットが2次元的に配列されている第2の回折素子と、を有し、入射する光に対して2次元的な回折光を発生させる回折光学素子であって、前記第1の回折素子において前記基本ユニットの配列方向を第1の方向とし、前記第2の回折素子において前記基本ユニットの配列方向を第2の方向とし、前記光が前記第1の回折素子、前記第2の回折素子の順に入射するとき、前記第1の回折素子で発生する回折光がさらに、前記第2の回折素子に入射して発生する0次光の最近接距離をΔxとし、前記第2の回折素子により発生する回折光及び迷光における最近接距離をαとした場合、前記第1の方向と前記第2の方向のなす角φが、-|φ1|<φ<|φ1|、かつ、φ≠0、sinφ1=-α/Δxであることを特徴とする回折光学素子を提供することにより上記課題を解決する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
複数の基本ユニットが2次元的に配列されている第1の回折素子と、複数の基本ユニットが2次元的に配列されている第2の回折素子と、を有し、入射する光に対して2次元的な回折光を発生させる回折光学素子であって、 前記第1の回折素子において前記基本ユニットの配列方向を第1の方向とし、前記第2の回折素子において前記基本ユニットの配列方向を第2の方向とし、前記光が前記第1の回折素子、前記第2の回折素子の順に入射するとき、前記第1の回折素子で発生する回折光がさらに、前記第2の回折素子に入射して発生する0次光の最近接距離をΔxとし、前記第2の回折素子により発生する回折光及び迷光における最近接距離をαとした場合、前記第1の方向と前記第2の方向のなす角φが、 -|φ1|<φ<|φ1|、かつ、φ≠0、 sinφ1=-α/Δx であることを特徴とする回折光学素子。
IPC (3件)：
G02B 5/32 ,  G02B 5/18 ,  G01B 11/25
FI (3件)：
G02B5/32 ,  G02B5/18 ,  G01B11/25 H
Fターム (30件)：
2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065DD03 ,  2F065DD12 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF48 ,  2F065HH04 ,  2F065HH06 ,  2F065JJ03 ,  2F065LL42 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ42 ,  2F065QQ43 ,  2F065UU01 ,  2H249AA03 ,  2H249AA13 ,  2H249AA33 ,  2H249AA37 ,  2H249AA51 ,  2H249AA55 ,  2H249CA01 ,  2H249CA05 ,  2H249CA08 ,  2H249CA15 ,  2H249CA24
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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