モノクロロシランに対するシリンダーの表面処理

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：青木篤 , 石田敬 , 古賀哲次 , 出野知 , 関根宣夫 , 塩川和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-126471
公開番号（公開出願番号）：特開2012-006827
出願日： 2011年06月06日
公開日（公表日）： 2012年01月12日
要約：

【課題】モノクロロシランを劣化のない安定した状態で、保存するための容器及び方法の提供。【解決手段】内部表面が次の群より選択される容器:(a)機械的研磨の結果として生じる表面;(b)電解研磨の結果として生じる表面;(c)有機分子の疎水性防護層の形成の結果として生じる表面;(d)ステンレス鋼の内部表面を与えることの結果として生じる表面;(e)アルミニウムの内部表面を与えることの結果として生じる表面;(f)ニッケルの内部表面を与えることの結果として生じる表面;(g)ポリマーコーティングの結果として生じる表面;(h)酸化ケイ素コーティングを有する表面;(i)その金属に分子的に結合した結晶性炭素の層を有する表面;(j)金属フッ化物の保護層を有する表面;(k)シランへの曝露によって金属に結合させたシランの保護層を有する表面;及び(l)不活性化ヒドロキシル基を有する表面。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

モノクロロシランを安定な状態で収容することができ、且つ多量のモノクロロシランを収容することができる、内部表面の修飾を有する容器であって、前記内部表面が次の群より選択される容器: (a)機械的研磨の結果として生じる表面; (b)電解研磨の結果として生じる表面; (c)有機分子の疎水性防護層の形成の結果として生じる表面; (d)ステンレス鋼の内部表面を与えることの結果として生じる表面; (e)アルミニウムの内部表面を与えることの結果として生じる表面; (f)ニッケルの内部表面を与えることの結果として生じる表面; (g)ポリマーコーティングの結果として生じる表面; (h)酸化ケイ素コーティングを有する表面; (i)その金属に分子的に結合した結晶性炭素の層を有する表面; (j)金属フッ化物の保護層を有する表面; (k)シランへの曝露によって金属に結合させたシランの保護層を有する表面;及び (l)不活性化ヒドロキシル基を有する表面。

IPC (5件)：

C01B 33/107 , C23C 16/44 , H01L 21/31 , B65D 25/14 , B65D 81/24

FI (6件)：

C01B33/107 Z , C23C16/44 B , H01L21/31 B , H01L21/31 , B65D25/14 Z , B65D81/24 D

Fターム (32件)：

3E062AA06 , 3E062AC03 , 3E062JB22 , 3E062JC02 , 3E062JC04 , 3E067AA03 , 3E067AB96 , 3E067BA02A , 3E067BB11A , 3E067BB26A , 3E067CA30 , 3E067EA32 , 3E067EB27 , 3E067FA01 , 3E067FC01 , 3E067GD01 , 4G072AA11 , 4G072GG03 , 4G072GG04 , 4G072QQ05 , 4G072UU30 , 4K030AA02 , 4K030AA06 , 4K030BA40 , 4K030BA44 , 4K030FA01 , 4K030FA10 , 4K030KA46 , 4K030KA47 , 5F045AB33 , 5F045AC05 , 5F045EE02

引用特許：

出願人引用 (4件)

特許第3116038号
保存容器
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-326159 出願人：セントラル硝子株式会社
高圧ガス容器の内面処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-175667 出願人：テイサン株式会社

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審査官引用 (4件)

特許第3116038号
保存容器
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-326159 出願人：セントラル硝子株式会社
高圧ガス容器の内面処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-175667 出願人：テイサン株式会社

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