特許
J-GLOBAL ID:201203073257081670
光学特性値計測装置、光学特性値計測方法及び光学特性値計測プログラム
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
前井 宏之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-210309
公開番号(公開出願番号):特開2012-063333
出願日: 2010年09月20日
公開日(公表日): 2012年03月29日
要約:
【課題】サンプルの散乱係数及び吸収係数を簡便に取得する。【解決手段】本発明による光学特性値計測装置(100)は、サンプル(S)に照射された光の一部であって、サンプル(S)において反射された反射光に基づいてサンプル(S)の反射率を測定する反射率測定部(12)と、光のうちの一部とは異なる一部であって、サンプル(S)を透過した透過光に基づいてサンプルの透過率を測定する透過率測定部(14)とを有する測定部(10)と、反射率及び透過率に基づいて散乱係数及び吸収係数を取得する取得部(20)とを備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
サンプルの散乱係数及び吸収係数を計測する光学特性値計測装置であって、
前記サンプルに照射された光の一部であって、前記サンプルにおいて反射された反射光に基づいて前記サンプルの反射率を測定する反射率測定部と、
前記光のうちの前記一部とは異なる一部であって、前記サンプルを透過した透過光に基づいて前記サンプルの透過率を測定する透過率測定部とを有する測定部と、
前記反射率及び前記透過率に基づいて前記散乱係数及び前記吸収係数を取得する取得部と
を備える、光学特性値計測装置。
IPC (2件):
FI (3件):
G01N21/27 B
, G01N21/27 Z
, G01N21/35 Z
Fターム (18件):
2G059AA02
, 2G059BB04
, 2G059BB12
, 2G059CC18
, 2G059DD13
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059EE12
, 2G059GG01
, 2G059HH01
, 2G059HH02
, 2G059JJ01
, 2G059JJ11
, 2G059JJ14
, 2G059JJ16
, 2G059JJ17
, 2G059MM02
, 2G059MM03
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