特許

J-GLOBAL ID：201203073740586635

酸化セリウム系研磨剤の製造方法

発明者： 馬屋原 芳夫 ,  片山 裕貴 ,  小林 正宏
出願人/特許権者： 日本電気硝子株式会社
代理人 (3件)： 目次 誠 ,  中山 和俊 ,  宮▲崎▼ 主税
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-232807
公開番号（公開出願番号）：特開2012-087172
出願日： 2010年10月15日
公開日（公表日）： 2012年05月10日
要約：

【課題】ガラスなどの非晶質体が付着した酸化セリウム系研磨剤から、高い研磨速度で研磨可能な酸化セリウム系研磨剤を製造できる方法を提供する。【解決手段】非晶質体が表面に付着した酸化セリウム系研磨剤の懸濁液に第1のアルカリ成分を添加することにより酸化セリウム系研磨剤の表面に付着した非晶質体を溶解させる。溶解工程の後に、懸濁液に第2のアルカリ成分を添加し、酸化セリウム系研磨剤を沈殿させる。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

非晶質体が表面に付着した酸化セリウム系研磨剤から酸化セリウム系研磨剤を製造する方法であって、 前記非晶質体が表面に付着した酸化セリウム系研磨剤の懸濁液に第1のアルカリ成分を添加することにより前記酸化セリウム系研磨剤の表面に付着した非晶質体を溶解させる溶解工程と、 前記溶解工程の後に、前記懸濁液に第2のアルカリ成分を添加し、前記酸化セリウム系研磨剤を沈殿させる沈殿工程と、 を備える、酸化セリウム系研磨剤の製造方法。

IPC (3件)：

C09K 3/14 ,  H01L 21/304 ,  B24B 37/00

FI (3件)：

C09K3/14 550D ,  H01L21/304 622B ,  B24B37/00 H

Fターム (10件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB03 ,  3C058CB10 ,  3C058DA02 ,  5F057AA43 ,  5F057DA03 ,  5F057EA01 ,  5F057EA09 ,  5F057FA44

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 光学研磨用酸化セリウム研磨剤廃液からの酸化セリウム回収方法及び光学研磨用酸化セリウム研磨剤廃液の無公害化処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-217057   出願人：細川澄男
• 酸化セリウム系研磨剤再生方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-005567   出願人：スピードファム株式会社
• セリウム系研磨材及びそれに含有される酸化セリウムの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-040206   出願人：株式会社フジミインコーポレーテッド
• セリウム系研摩材の製造方法及びセリウム系研摩材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-357161   出願人：三井金属鉱業株式会社