特許
J-GLOBAL ID：201203075012247967
干渉縞モデル適合による表面形状測定方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-129799
公開番号（公開出願番号）：特開2012-027009
出願日： 2011年06月10日
公開日（公表日）： 2012年02月09日
要約：
【課題】測定対象物の表面形状や表面高さを精度良く測定可能にする。【解決手段】複数の波長の単色光(B、G、R)を用いて、平均輝度、干渉変調度および点の高さを未知パラメータとして、波長番号ごとの輝度であらわされる測定対象面と参照面から得られる干渉画像から、干渉縞モデルと適合することにより各点の高さを求める。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
2波長ないし3波長以上からなる複数の波長の単色光を測定対象面と参照面に照射し、両面からの反射光の干渉により得られる干渉画像から、2波長の場合は前記画像内の互いに異なる4点以上、3波長以上の場合は3点以上を選択し、前記各点における干渉輝度信号に、波長番号jの波長をλ(j)、波長番号jの平均輝度をa(j)、干渉変調度をb(j)、点iの高さをz(i)として、
点iにおける波長番号jの輝度g(i,j)が、
g(i,j)=a(j)[1+b(j)*cos{4πz(i)/λ(j)}]
であらわされる干渉縞モデルを適合することにより、前記各点iの高さz(i)、
各波長番号jの平均輝度a(j)および干渉変調度b(j)を求めることを特徴とする表面形状測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B11/24 D
, G01B11/02 G
2F065AA24
, 2F065AA51
, 2F065FF04
, 2F065FF44
, 2F065FF51
, 2F065GG22
, 2F065GG23
, 2F065JJ19
, 2F065JJ26
, 2F065QQ24
, 2F065QQ31
, 2F065QQ42
, 2F065RR06
