特許
J-GLOBAL ID：200903084370476980
複数波長による表面形状の測定方法およびこれを用いた装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
杉谷 勉
, 戸高 弘幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-008233
公開番号（公開出願番号）：特開2008-209404
出願日： 2008年01月17日
公開日（公表日）： 2008年09月11日
要約：
【課題】測定対象面の凹凸段差を高速に精度よく求めることのできる複数波長による表面形状測定方法およびその装置を提供する。【解決手段】参照面を光の進行方向に対して任意角度の斜め傾斜姿勢で配備することにより、測定対象面30Aと参照面15から同一光路を戻る反射光により干渉縞を発生させる。このとき、異なる複数波長の単色光を利用し、各単色光によって発生する干渉縞の各画素の強度値を撮像装置19で撮像する。CPU20は、干渉縞波形を求める表現式を利用して算出対象画素ごと、各画素の強度値とその近隣にある画素の強度値とを利用し、各画素に含まれる干渉縞波形の直流成分、交流振幅、および位相が等しいと仮定して各画素の干渉縞波形の位相の候補値群を波長ごとに求め、さらに複数の候補値群から共通する表面高さを求める。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
分岐手段を介して測定対象面と参照面に単色光を照射し、測定対象面と参照面の両方から反射して同一光路を戻る反射光によって生じる干渉縞の強度値に基づいて、測定対象面の表面高さと表面形状を求める複数波長による表面形状の測定方法において、
光の進行方向に対して任意角度の傾斜姿勢で前記参照面を配置し、波長の異なる複数の単色光を測定対象物と参照面に同時に照射することにより発生させた干渉縞の画像を取得する第1過程と、
取得した前記画像における各画素の干渉縞の強度値を単色光ごとに求める第2過程と、
干渉縞波形を求める表現式を利用して前記画素ごとについて、各画素の強度値とその近傍の複数画素の強度値とを利用し、それらの画素における干渉縞波形の直流成分、交流振幅、および位相が等しいと仮定し、各画素の位相を単色光ごとに求める第3過程と、
単色光ごとに求めた各画素の位相から表面高さの候補群を求め、各波長の候補群から共通する高さを実高さとして求める第4の過程と、
求めた前記実高さから測定対象物の表面形状を求める第5過程と、
を備えたことを特徴とする複数波長による表面形状の測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B11/24 D
, G01B11/02 G
2F065AA24
, 2F065AA51
, 2F065FF04
, 2F065FF44
, 2F065FF51
, 2F065GG23
, 2F065GG24
, 2F065JJ26
, 2F065LL12
, 2F065LL21
, 2F065QQ17
, 2F065QQ24
, 2F065QQ31
