特許
J-GLOBAL ID:201203075971992680

貼合構造体及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人 英知国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-182464
公開番号(公開出願番号):特開2012-043582
出願日: 2010年08月17日
公開日(公表日): 2012年03月01日
要約:
【課題】板状ワークに適度な張力が与えられるように微正圧を封止して、通常の使用範囲で気温変動や気圧変動が生じたとしても板状ワークが撓み変形しない貼合構造体を提供する。【解決手段】板状ワーク1,2の接近移動に伴って表面1a,2aの間隔が圧力上昇開始ギャップG1になる直前まで、通気手段4によって内部空間ISから外部空間OSへの通気を確保することにより、板状ワーク1,2間の内部空間IS内に収容される流体が外部空間OSに排出され、これに続いて、表面1a,2aの間隔が圧力上昇開始ギャップG1から最終貼り合せキャップG2になるまで、内部空間ISを密閉することにより、内部空間ISの内圧が接着剤3を破壊しないレベルの微正圧に上昇し、この最終貼り合せキャップG2で接着剤3が硬化されることにより、内部空間ISに微正圧の流体を封止した状態で板状ワーク1,2同士が貼り合わされる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
それぞれの表面が対向するように一対設けられて、相対的に互いに接近する方向へ移動自在に支持される板状ワークと、 前記板状ワークの前記表面のいずれか一方又は両方に対し枠状に塗布されて、前記板状ワークの接近移動に伴って圧縮変形し、前記表面の間隔が最終貼り合せキャップとなった時に硬化して前記板状ワーク同士を貼り合わせる接着剤と、 前記板状ワーク間の内部空間と外部空間との間で作用する通気手段とを備え、 前記通気手段は、前記板状ワークの接近移動による前記表面の間隔変化に対応して、前記表面の間隔が前記接着剤の塗布厚さよりも狭い圧力上昇開始ギャップに至るまでは、前記内部空間から前記外部空間への通気を確保し、前記表面の間隔が前記圧力上昇開始ギャップよりも狭い前記最終貼り合せキャップに至るまで前記内部空間を密閉して、前記内部空間に前記接着剤が破壊しないレベルの微正圧の流体を封止させることを特徴とする貼合構造体。
IPC (2件):
H05B 33/04 ,  H01L 51/50
FI (2件):
H05B33/04 ,  H05B33/14 A
Fターム (11件):
3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC23 ,  3K107CC42 ,  3K107CC45 ,  3K107EE42 ,  3K107EE52 ,  3K107EE55 ,  3K107FF15 ,  3K107FF16 ,  3K107GG37
引用特許:
審査官引用 (2件)

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