特許
J-GLOBAL ID：201203078325238542
ダイボンダおよびダイボンディング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-198989
公開番号（公開出願番号）：特開2012-059765
出願日： 2010年09月06日
公開日（公表日）： 2012年03月22日
要約：
【課題】搬送動作により発生する振動や熱源による気流の発生によって、ワークやウエハの位置決めのために撮像する画像が受ける影響を減少させ、タクトタイムが短く、位置合わせ精度が高いダイボンダおよびダイボンディング方法を提供すること。【解決手段】ワークやダイが移動を停止した直後、撮像装置は、振動の波形が整定位置に至る前に振動の波形の揺らぎ周期(1波長)より十分長いシャッター速度で、かつ、気流による光学的な揺らぎの波形より十分長いシャッター速度で、ワークやダイを撮像する。画像処理部は、撮像されたにじんだ画像でパターンマッチングする画像処理を行い位置補正する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ワークを撮像する第1の撮像装置と、前記第1の撮像装置が撮像した画像を画像処理し前記ワークの所定の第1の基準位置を抽出する画図処理部と、前記抽出された第1の基準位置に基づいて位置合わせする位置制御部とを備え、
前記第1の撮像装置の第1の電子シャッター速度が、前記ワークが停止基準位置に停止した後に発生する第1の振動波形の1波長より長い又は前記停止基準位置の光学的な揺らぎの第1の波形の1波長より長いことを特徴とするダイボンダ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
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