特許
J-GLOBAL ID：201203079248160680
ロードポート装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
岡部 讓
, 岡部 正夫
, 臼井 伸一
, 越智 隆夫
, 吉澤 弘司
, 齋藤 正巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-202676
公開番号（公開出願番号）：特開2012-059979
出願日： 2010年09月10日
公開日（公表日）： 2012年03月22日
要約：
【課題】 大型化によって重量が増加したドアに対して、ドア駆動機構に対する過負荷の発生を防止してドアの停止位置の再現性を確保可能なロードポート装置を提供する。【解決手段】 ドア駆動機構においてドアを開口部形成面に垂直な方向に駆動するドア駆動機構を、カムフォロアを0°から180°に回動可能なロータリーシリンダと、該ロータリーシリンダの回転軸に垂直な面内に該カムフォロアを収容可能で鉛直方向に延在するカム溝を有するスライダと、から構成し、該スライダによってドアを支持する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
半導体処理装置の取付け面に取り付けられて被処理物が挿脱される開口部を形成し、前記取付け面に対して前記半導体処理装置の外部側に配置された密閉容器たるポッドの蓋を開閉することにより、前記開口部を介しての前記ポッド内に対する前記被処理物の挿脱の実施を可能とするロードポート装置であって、
前記ポッドが載置可能な載置テーブルと、
前記載置テーブルに載置された状態の前記ポッドの前記蓋を保持可能であって、前記取付け面に対して前記半導体処理装置の内部側から前記開口部の開閉を行うドアと、
前記ドアを支持し、前記ドアに対して前記開口部への開閉動作を行わせるドア駆動機構と、を有し、
前記ドア駆動機構は、所定の軌跡で移動可能であって前記所定の軌跡の一方の端部と他方の端部とを結ぶ直線に対して所定の交差角度で交差する方向に延在するカム溝を有して前記ドアを支持するスライダと、前記カム溝と係合するカムフォロアを支持して前記カムフォロアから離れた位置に配置される回転軸を回転中心として前記カムフォロアを所定の角度範囲で回転動作させる駆動源と、を有し、
前記駆動源の前記回転軸は前記スライダと向かい合うことを特徴とするロードポート装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
5F031CA02
, 5F031DA08
, 5F031EA12
, 5F031EA14
, 5F031FA01
, 5F031FA07
, 5F031FA11
, 5F031LA07
, 5F031LA11
, 5F031MA11
, 5F031NA02
, 5F031NA05
, 5F031NA10
, 5F031PA18
