特許
J-GLOBAL ID：200903082515291824

ロードポート装置、及びそのマッピング装置

発明者：
夏目 光夫

夏目 光夫 について

, 
落合 光敏

落合 光敏 について

, 
鈴木 健介

鈴木 健介 について


出願人/特許権者：
神鋼電機株式会社

神鋼電機株式会社 について


代理人 (1件)： 内藤 哲寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-367090
公開番号（公開出願番号）：特開2006-173510
出願日： 2004年12月20日
公開日（公表日）： 2006年06月29日
要約：
【課題】昇降精度に基づき、性能とコストの適正化を図ることができる、ロードポート装置及びマッピング装置を提供する。 【解決手段】ロードポート装置Pを構成するロードポートフレーム1の正面部に、蓋体着脱装置Aと、該蓋体着脱装置Aを昇降させるための第1昇降装置U1 と、マッピング装置Bを片持ち状態で支持したマッピングフレーム43とを配設すると共に、前記ロードポートフレーム1の背面部に、前記マッピング装置Bを昇降させるための第2昇降装置U2 を配設して、両装置A,Bが第1及び第2の各昇降装置U1,U2 によりそれぞれ独立して昇降されるように構成し、前記蓋体着脱装置Aをエアシリンダ9,11で昇降させると共に、前記マッピング装置Bをステッピングモータ38で昇降させる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
キャリアカセットを載置するために、基板の処理装置のフレームの外側に水平に設けられたカセットテーブルと、 前記カセットテーブルに載置されたキャリアカセットの開口に対して蓋体を着脱するために、前記処理装置のフレームの内側に昇降可能に配設された蓋体着脱装置と、 キャリアカセットの開口に臨む基板群に対して退避可能に配置された基板検出センサが、前記蓋体着脱装置の昇降機構と別体にして設けられた昇降機構により昇降して、前記キャリアカセットの各段における基板の存否等を検出するためのマッピング装置とを備えたロードポート装置であって、 前記蓋体着脱装置は、シリンダを含む簡略な昇降機構によって昇降されると共に、前記マッピング装置は、制御モータを含む昇降機構によって高精度で昇降されることを特徴とするロードポート装置。
IPC (2件)：
H01L 21/677 ,  H01L 21/67
FI (2件)：
H01L21/68 A ,  H01L21/68 L
Fターム (13件)：
5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA14 ,  5F031JA05 ,  5F031JA06 ,  5F031JA13 ,  5F031JA23 ,  5F031LA07 ,  5F031LA09 ,  5F031LA12 ,  5F031LA15 ,  5F031NA10 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-311821   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
  • FOUPオープナ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-269149   出願人：平田機工株式会社
審査官引用 (3件)
  • 基板搬入出装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-318119   出願人：神鋼電機株式会社
  • 基板検出装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-155270   出願人：神鋼電機株式会社
  • ロードポート装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-283230   出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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