特許
J-GLOBAL ID:201203079787182719
反射防止膜及び反射防止膜を有する光学部材
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高石 橘馬
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-224333
公開番号(公開出願番号):特開2012-078597
出願日: 2010年10月01日
公開日(公表日): 2012年04月19日
要約:
【課題】波長400〜700nmで製造ばらつきを考慮しても最大反射率が0.1%以下の反射防止特性を有し、製造の際にも安定した分光反射特性が得られる反射防止膜を提供する。【解決手段】波長400〜700nmの光において1.45〜2.12の屈折率を有する基板上に、前記基板から順に第1層〜第4層を形成してなる4層構成の反射防止膜であって、前記第1層〜第4層が、それぞれ独立に100〜150nmの光学膜厚を有し、前記基板の屈折率N0、及び前記第1層〜第4層の屈折率N1〜N4が、(0.78×N0+0.40)≦N1≦(0.78×N0+0.62)、(0.30×N0+1.20)≦N2≦(0.30×N0+1.73)、1.48≦N3≦1.94、及び1.15≦N4≦1.27を満たすことを特徴とする反射防止膜。【選択図】図1
請求項(抜粋):
波長400〜700 nmの光において1.45〜2.12の屈折率を有する基板上に、前記基板から順に第1層〜第4層を形成してなる4層構成の反射防止膜であって、
前記第1層〜第4層が、それぞれ独立に100 nm以上の光学膜厚を有し、
前記基板の屈折率N0、及び前記第1層〜第4層の屈折率N1〜N4が、
(0.78×N0+0.40)≦N1≦(0.78×N0+0.62)、
(0.30×N0+1.20)≦N2≦(0.30×N0+1.73)、
1.48≦N3≦1.94、及び
1.15≦N4≦1.27
を満たすことを特徴とする反射防止膜。
IPC (4件):
G02B 1/11
, B32B 7/02
, B32B 9/00
, C23C 14/08
FI (4件):
G02B1/10 A
, B32B7/02 103
, B32B9/00 A
, C23C14/08 N
Fターム (77件):
2K009AA07
, 2K009BB02
, 2K009CC03
, 2K009CC06
, 2K009CC09
, 2K009CC42
, 2K009DD02
, 2K009DD04
, 2K009DD06
, 4F100AA06E
, 4F100AA17B
, 4F100AA17C
, 4F100AA17D
, 4F100AA19B
, 4F100AA19C
, 4F100AA19D
, 4F100AA19E
, 4F100AA20B
, 4F100AA20C
, 4F100AA20D
, 4F100AA20E
, 4F100AA21B
, 4F100AA21C
, 4F100AA21D
, 4F100AA25B
, 4F100AA25C
, 4F100AA25D
, 4F100AA27B
, 4F100AA27C
, 4F100AA27D
, 4F100AA28B
, 4F100AA28C
, 4F100AA28D
, 4F100AA29B
, 4F100AA29C
, 4F100AA29D
, 4F100AT00A
, 4F100BA05
, 4F100BA07
, 4F100BA10A
, 4F100BA10E
, 4F100DE01E
, 4F100EH46E
, 4F100EH66B
, 4F100EH66C
, 4F100EH66D
, 4F100GB41
, 4F100GB90
, 4F100JL00
, 4F100JM02B
, 4F100JM02C
, 4F100JM02D
, 4F100JM02E
, 4F100JN06B
, 4F100JN06C
, 4F100JN06D
, 4F100JN06E
, 4F100JN18A
, 4F100JN18B
, 4F100JN18C
, 4F100JN18D
, 4F100JN18E
, 4F100YY00A
, 4F100YY00B
, 4F100YY00C
, 4F100YY00D
, 4F100YY00E
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA50
, 4K029BB02
, 4K029BC07
, 4K029CA05
, 4K029DC03
, 4K029DC16
, 4K029EA01
, 4K029GA02
引用特許:
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