特許
J-GLOBAL ID：201203083179108422
真空冷却装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-253346
公開番号（公開出願番号）：特開2012-102957
出願日： 2010年11月12日
公開日（公表日）： 2012年05月31日
要約：
【課題】熱交換器11へ供給する冷却用水の温度を最適にコントロールする。 【解決手段】被冷却物を収容する処理槽2、処理槽と接続しており処理槽内の空気を吸引する真空発生装置1、処理槽から真空発生装置へ送られている空気を冷却する熱交換器11、熱交換器へ供給する冷却用水を冷却する冷水ユニット15、熱交換器で熱交換を行った冷却用水を溜めておき冷水ユニットへの給水を行う水槽3/4を持ち、処理槽内を真空化することで被冷却物の冷却を行う真空冷却装置において、前記水槽は比較的高温の冷却用水を冷水ユニットへ供給するための高温側水槽3と、比較的低温の冷却用水を冷水ユニットへ供給するための低温側水槽4を分割して設けておき、温度が異なっている冷却用水の供給割合を調節することによって熱交換器へ送る冷却用水の温度を調節する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被冷却物を収容する処理槽、処理槽と接続しており処理槽内の空気を吸引する真空発生装置、処理槽から真空発生装置へ送られている空気を冷却する熱交換器、熱交換器へ供給する冷却用水を冷却する冷水ユニット、熱交換器で熱交換を行った冷却用水を溜めておき冷水ユニットへの給水を行う水槽を持ち、処理槽内を真空化することで被冷却物の冷却を行う真空冷却装置において、前記水槽は比較的高温の冷却用水を冷水ユニットへ供給するための高温側水槽と、比較的低温の冷却用水を冷水ユニットへ供給するための低温側水槽を分割して設けておき、温度が異なっている冷却用水の供給割合を調節することによって熱交換器へ送る冷却用水の温度を調節するものであることを特徴とする真空冷却装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
3L044AA04
, 3L044BA05
, 3L044CA11
, 3L044DD04
, 4B022LF02
, 4B022LP03
, 4B022LP10
, 4B022LT10
