特許

J-GLOBAL ID：201203084226398031

パージ装置、ロードポート

発明者： 中野 高彰
出願人/特許権者： シンフォニアテクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 佐野 禎哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-121453
公開番号（公開出願番号）：特開2012-248785
出願日： 2011年05月31日
公開日（公表日）： 2012年12月13日
要約：

【課題】所定の気体雰囲気の到達濃度が高いパージ処理を行うことができるとともに、パージ対象容器に付属のポートの種類や形状などに応じて、先端部の種類や形状が異なるパージノズルに交換する作業やメンテナンス作業を簡単且つスムーズに行うことが可能なパージ装置を提供する。【解決手段】パージ対象容器1を載置可能な載置台に取り付けたボトムパージユニット2と、ポート1aに接触可能なポート接触部32を上端部に有するとともに、ボトムパージユニット2に形成した取付部42に係合可能な被取付部33を下端部に有し、被取付部33を取付部42に対して着脱可能に係合させることによってボトムパージユニット2に取付可能なボトムパージノズル本体3とを備え、被取付部33を取付部42に係合させた状態でポート接触部32が定位置に位置付けられ且つ略水平になるパージ装置Pとした。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

パージ対象容器の底面に設けたポートを通じて当該パージ対象容器内の気体雰囲気を窒素又は乾燥空気に置換可能なパージ装置であり、 前記パージ対象容器を載置可能な載置台に取り付けたボトムパージユニットと、 前記ポートに接触可能なポート接触部を上端部に有するとともに、前記ボトムパージユニットに形成した取付部に係合可能な被取付部を下端部に有し、前記被取付部を前記取付部に対して着脱可能に係合させることによって前記ボトムパージユニットに取付可能なボトムパージノズル本体とを備え、 前記被取付部を前記取付部に係合させた状態で前記ポート接触部が定位置に位置付けられ且つ略水平となるように構成したことを特徴とするパージ装置。

IPC (1件)：

H01L 21/677

FI (1件)：

H01L21/68 A

Fターム (8件)：

5F031DA08 ,  5F031DA12 ,  5F031FA03 ,  5F031FA12 ,  5F031KA20 ,  5F031NA02 ,  5F031NA04 ,  5F031NA09

引用特許：

審査官引用 (1件)

• N2ガスパージ装置におけるノズルユニット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-040792   出願人：近藤工業株式会社, 日本ケンブリッジフィルター株式会社