特許

J-GLOBAL ID：201203085395807958

感放射線性樹脂組成物、パターン形成方法、重合体及び化合物

発明者： 木元 孝和 ,  佐藤 光央 ,  浅野 裕介 ,  柿澤 友洋
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (7件)： 天野 一規 ,  藤本 勝誠 ,  奥谷 優 ,  池田 義典 ,  小川 博生 ,  石田 耕治 ,  森田 慶子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-102492
公開番号（公開出願番号）：特開2012-063741
出願日： 2011年04月28日
公開日（公表日）： 2012年03月29日
要約：

【課題】本発明の目的は、液浸露光時における疎水性を確保しつつ、アルカリ現像液に対する反応性に優れ、ブロッブ欠陥、ブリッジ欠陥等の現像欠陥の発生を抑制することができる感放射線性樹脂組成物を提供することである。【解決手段】本発明は、[A]下記式(1)で表される基を有する重合体、及び[B]感放射線性酸発生体を含有する感放射線性樹脂組成物である。また、下記式(1)におけるAは、炭素数4〜20の脂環式基又は炭素数1〜20の鎖状炭化水素基であることが好ましい。さらに、下記式(1)におけるQは、下記式(2-1)又は(2-2)で表される基であることが好ましい。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

[A]下記式(1)で表される基を有する重合体、及び [B]感放射線性酸発生体 を含有する感放射線性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/38 ,  H01L 21/027 ,  C08L 101/02 ,  C08K 5/00

FI (5件)：

G03F7/039 601 ,  G03F7/38 501 ,  H01L21/30 502R ,  C08L101/02 ,  C08K5/00

Fターム (27件)：

2H096DA10 ,  2H125AF17P ,  2H125AF36P ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH24 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ54X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN82P ,  2H125BA01P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  4J002AA031 ,  4J002BG041 ,  4J002BG071 ,  4J002EB116 ,  4J002EV296 ,  4J002EW176 ,  4J002FD206

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 感活性光線または感放射線樹脂組成物及びそれを用いたパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-089799   出願人：富士フイルム株式会社
• 感活性光線性又は感放射線性樹脂組組成物および該組成物を用いたパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-132410   出願人：富士フイルム株式会社
• 高分子化合物、レジスト材料、及びパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-277699   出願人：信越化学工業株式会社
• 化合物、樹脂及びレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-096841   出願人：住友化学株式会社