特許
J-GLOBAL ID：201203086847609233

冷却ガス用の孔を有する紫外線リフレクタおよび方法

発明者：
ヤン, ヤオ-ホン

ヤン, ヤオ-ホン について

, 
グエン, トゥアン アン

グエン, トゥアン アン について

, 
バルージャ, サンジーヴ

バルージャ, サンジーヴ について

, 
カシューバ, アンジェイ

カシューバ, アンジェイ について

, 
ロチャ, フアン カルロス

ロチャ, フアン カルロス について

, 
ノワック, トーマス

ノワック, トーマス について

, 
ホー, ダスティン ダブリュ.

ホー, ダスティン ダブリュ. について


出願人/特許権者：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド について


代理人 (2件)： 園田 吉隆 ,  小林 義教
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-532341
公開番号（公開出願番号）：特表2012-506622
出願日： 2009年10月20日
公開日（公表日）： 2012年03月15日
要約：
基板処理装置において、紫外線ランプ用のリフレクタを用いることができる。リフレクタは、紫外線ランプの長さに延在する長手方向のストリップを備える。長手方向のストリップは湾曲した反射面を有し、かつ冷却ガスを前記紫外線ランプに方向付けるために複数の貫通孔を備える。リフレクタを備えた紫外線ランプモジュールを使用するチャンバ、および紫外線処置の方法も記載される。
請求項（抜粋）：
基板処理装置に用いられる紫外線ランプ用のリフレクタであって、前記紫外線ランプの長さに延在する長手方向のストリップを備え、前記長手方向のストリップが湾曲した反射面を有し、かつ冷却ガスを前記紫外線ランプに方向付けるために複数の貫通孔を備えるリフレクタ。
IPC (6件)：
H01L 21/31 ,  C23C 16/44 ,  F21V 7/00 ,  F21V 7/04 ,  F21V 7/09 ,  F21V 29/02
FI (6件)：
H01L21/31 E ,  C23C16/44 B ,  F21V7/00 340 ,  F21V7/04 300 ,  F21V7/09 500 ,  F21V29/02 510
Fターム (16件)：
3K014AA02 ,  3K014MA02 ,  3K014MA05 ,  3K014MA08 ,  4K030DA03 ,  4K030DA08 ,  4K030KA26 ,  4K030KA36 ,  4K030KA37 ,  4K030KA46 ,  5F045AB39 ,  5F045CA13 ,  5F045CA15 ,  5F045EK12 ,  5F045HA18 ,  5F045HA22
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM