特許
J-GLOBAL ID：200903011838065462

熱処理装置

発明者：
中島 敏博

中島 敏博 について

, 
渡辺 純

渡辺 純 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (3件)： 吉田 茂明 ,  吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-315471
公開番号（公開出願番号）：特開2008-130888
出願日： 2006年11月22日
公開日（公表日）： 2008年06月05日
要約：
【課題】フラッシュランプを効果的に冷却することができる熱処理装置を提供する。【解決手段】フラッシュ光を照射する複数のフラッシュランプ69の配列を覆ってリフレクタ52が設けられ、リフレクタ52の上側に冷却ボックス20が設置されている。冷却ボックス20の内部にはバッファ空間21が内蔵され、そのバッファ空間21に連通する複数の噴出孔22が冷却ボックス20の底部およびリフレクタ52を貫通して穿設されている。複数の噴出孔22のそれぞれは複数のフラッシュランプ69の配列におけるランプ間の隙間の直上に位置するように設けられている。複数の噴出孔22から噴出された窒素ガスはフラッシュランプ69の配列における隣接するランプ間の隙間を通過してランプ光放射窓53に吹き付けられる。フラッシュランプ69は、窒素ガスによる直接冷却とランプ光放射窓53の温度低下とによって効果的に冷却される。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
チャンバー内に収容した基板に対してランプハウスからフラッシュ光を照射することによって該基板を加熱する熱処理装置であって、 前記チャンバーは、 基板を保持するとともに、フラッシュ光照射の前に保持する基板を予備加熱する予備加熱機構を有する保持部と、 前記ランプハウスからのフラッシュ光を前記保持部に透過するチャンバー窓と、 を備え、 前記ランプハウスは、 棒状の放電管から前記チャンバー内の前記保持部に保持された基板に向けてフラッシュ光を出射する複数のフラッシュランプを配列した光源と、 前記チャンバー窓に相対向して設けられ、前記光源から出射されたフラッシュ光を前記チャンバーに向けて透過する放射窓と、 前記複数のフラッシュランプの配列におけるランプ間の隙間を通過して前記放射窓に気体を吹き付ける気体噴出部と、 を備えることを特徴とする熱処理装置。
IPC (1件)：
H01L 21/26
FI (2件)：
H01L21/26 J ,  H01L21/26 G
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (8件)
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