特許

J-GLOBAL ID：201203089095973312

光硬化性ナノインプリント用組成物、該組成物を用いたパターンの形成方法、及び該組成物の硬化体を有するナノインプリント用レプリカ金型

発明者： 梅川 秀喜 ,  川端 雄一郎 ,  佐々木 優子
出願人/特許権者： 株式会社トクヤマ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-052901
公開番号（公開出願番号）：特開2012-214022
出願日： 2012年03月09日
公開日（公表日）： 2012年11月08日
要約：

【課題】 パターンの転写が容易にでき、該パターンの基板との密着性、及び金型からの離型性が良く、エッチング耐性に優れ、分散性のよい組成物で生産性に優れた光硬化性ナノインプリント用組成物を提供する。【解決手段】 光硬化性ナノインプリント用組成物は、(A)フッ素化有機シラン化合物、メタ)アクリル基含有珪素化合物を含む混合物を加水分解した加水分解物、(B)(メタ)アクリル基を有する重合性単量体、並びに(C)光重合開始剤を含んでなる。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)下記式(1)

IPC (3件)：

B29C 59/02 ,  H01L 21/027 ,  C08G 77/24

FI (4件)：

B29C59/02 Z ,  H01L21/30 502D ,  C08G77/24 ,  B29C59/02 B

Fターム (34件)：

4F209AA33J ,  4F209AA43J ,  4F209AA44A ,  4F209AB04 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AJ03 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  4J246AA03 ,  4J246AB06 ,  4J246AB15 ,  4J246BA12X ,  4J246BA120 ,  4J246BA14X ,  4J246BA140 ,  4J246BB02X ,  4J246BB020 ,  4J246CA14X ,  4J246CA140 ,  4J246CA46X ,  4J246CA460 ,  4J246CA65 ,  4J246CA65X ,  4J246FA071 ,  4J246FA131 ,  4J246FA421 ,  4J246FA441 ,  4J246HA15 ,  5F146AA33

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ナノインプリントレジスト
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2003-584817   出願人：クラリアント・ゲーエムベーハー
• 微細構造物の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-052612   出願人：ダイセル化学工業株式会社