特許
J-GLOBAL ID：201203094283285699
テープ剥離装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
松本 昂
, 伊藤 憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-164476
公開番号（公開出願番号）：特開2012-028478
出願日： 2010年07月22日
公開日（公表日）： 2012年02月09日
要約：
【課題】熱圧着によるウエーハの破損やウエーハにダメージを与える恐れを低減するとともに使用済みの剥離用テープの廃棄を容易にするテープ剥離装置を提供する。【解決手段】表面に保護テープ13が貼着された板状物11を保持する保持テーブル18と、板状物11の表面に貼着された該保護テープ13に少なくとも基材と粘着層とからなる剥離用テープ26を圧着する圧着手段62と、該剥離用テープ26の端部を挟持する挟持手段38と、該挟持手段38と該保持テーブル18とを相対移動させる移動手段とを具備し、該挟持手段38は、該剥離用テープ26を挟持するための上挟持部44と下挟持部42と、該上挟持部44と該下挟持部42とを接近及び離反させる方向に移動する挟持部移動手段とを含み、該下挟持部42は、該下挟持部42に貼着された該剥離用テープ26の該粘着層に向かって開口する噴出口と、該噴出口に気体を送る伝達路とを備える。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
表面に保護テープが貼着された板状物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された板状物の表面に貼着された該保護テープに少なくとも基材と粘着層とからなる剥離用テープを圧着する圧着手段と、板状物の表面に貼着された該保護テープに圧着された該剥離用テープの端部を挟持する挟持手段と、該挟持手段と該保持テーブルとを相対移動させる移動手段と、を具備したテープ剥離装置であって、
該挟持手段は、該剥離用テープを挟持するための上挟持部と、該上挟持部に対向する下挟持部と、該上挟持部と該下挟持部とを接近及び離反させる方向に移動する挟持部移動手段とを含み、
該下挟持部は、該下挟持部に貼着された該剥離用テープの該粘着層に向かって開口する噴出口と、気体供給源に接続されて該噴出口に気体を送る伝達路、とを含むことを特徴とするテープ剥離装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
5F031CA02
, 5F031HA13
, 5F031HA57
, 5F031HA78
, 5F031LA03
, 5F031LA07
, 5F031LA12
, 5F031LA15
, 5F031MA02
, 5F031MA38
, 5F031PA20
, 5F031PA30
