液体噴射ヘッドの検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：布施行夫 , 大渕美千栄 , 永田美佐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-050019
公開番号（公開出願番号）：特開2012-183792
出願日： 2011年03月08日
公開日（公表日）： 2012年09月27日
要約：

【課題】信頼性の高い検査を行うことができる液体噴射ヘッドの検査方法を提供する。【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッドの検査方法は、流路32が形成された流路形成基板30と、流路32と連通するノズル穴52を有するノズル板50と、流路32に圧力変化を生じさせるアクチュエーター10と、を含む液体噴射ヘッドの検査方法であって、赤外線顕微鏡を用いて、液体噴射ヘッド100を、ノズル板50側から観察する工程を含み、ノズル板50の材質は、シリコンである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

流路が形成された流路形成基板と、前記流路と連通するノズル穴を有するノズル板と、前記流路に圧力変化を生じさせるアクチュエーターと、を含む液体噴射ヘッドの検査方法であって、赤外線顕微鏡を用いて、前記液体噴射ヘッドを、前記ノズル板側から観察する工程を含み、前記ノズル板の材質は、シリコンである、液体噴射ヘッドの検査方法。

IPC (3件)：

B41J 2/16 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (2件)：

B41J3/04 103H , B41J3/04 103A

Fターム (10件)：

2C057AF93 , 2C057AG14 , 2C057AG44 , 2C057AG91 , 2C057AP25 , 2C057AP82 , 2C057AP90 , 2C057AQ02 , 2C057BA04 , 2C057BA14

引用特許：

審査官引用 (2件)

インクジェットヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-003975 出願人：セイコーエプソン株式会社
液滴吐出ヘッドの検査方法、検査装置及び液滴吐出ヘッド、並びに液滴吐出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-038470 出願人：セイコーエプソン株式会社

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