特許
J-GLOBAL ID:201203098366496948

検査装置および検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 藤島 洋一郎 ,  三反崎 泰司 ,  長谷部 政男 ,  田名網 孝昭
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-068552
公開番号(公開出願番号):特開2012-202867
出願日: 2011年03月25日
公開日(公表日): 2012年10月22日
要約:
【課題】検出精度を簡易に向上させることが可能な検査装置および検査方法を提供する。【解決手段】検査装置1は、カップリング材(導波材)としての粉体12と、粉体12を介して被検査体2側へ入射弾性波Winを供給すると共に被検査体2側からの反射弾性波Wrefを粉体12を介して取得する弾性波入出力部(振動子13、発信部14および受信部15)と、被検査体2の音響インピーダンスZに相対的に近づくように、粉体12の音響インピーダンスZを変化させるインピーダンス制御部(圧力容器11、加圧ピストン17、駆動部18および制御部19)とを備えている。簡易な手法によって、反射弾性波Wrefにおける被検査体2の表面S1での反射成分が低減され、被検査体2内部の空隙(欠陥)21での反射成分が検出し易くなる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
導波材と、 前記導波材を介して被検査体側へ入射弾性波を供給すると共に、前記被検査体側からの反射弾性波を前記導波材を介して取得する弾性波入出力部と、 前記被検査体の音響インピーダンスに相対的に近づくように、前記導波材の音響インピーダンスを変化させるインピーダンス制御部と を備えた検査装置。
IPC (1件):
G01N 29/28
FI (1件):
G01N29/28
Fターム (3件):
2G047GE01 ,  2G047GE03 ,  2G047GE08
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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