全反射分光計測装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：長谷川芳樹 , 黒木義樹 , 石田悟 , 中山浩光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-228604
公開番号（公開出願番号）：特開2012-083166
出願日： 2010年10月08日
公開日（公表日）： 2012年04月26日
要約：

【課題】簡単な構成で検出信号の強度を確保でき、適切な分光計測結果を得ることができる全反射分光計測装置を提供する。【解決手段】全反射分光計測装置1では、段差部51A,51Bへの突き当てによって、内部全反射プリズム31の入射面31aに対するテラヘルツ波発生アンテナ32の位置決め、及び出射面31bに対するテラヘルツ波検出アンテナ33の位置決めを簡単な構成で精度良く行うことができる。これにより、テラヘルツ波発生アンテナ32で発生したテラヘルツ波Tを内部全反射プリズム31内で設計通りの伝播経路で伝播させることができる。したがって、検出信号の強度を十分に確保でき、また、テラヘルツ波Tを被測定物34の位置からずらさずに全反射させることができるので、適切な分光計測結果を得ることが可能となる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

レーザ光を出射する光源と、前記光源から出射されたレーザ光をポンプ光とプローブ光とに分岐する分岐部と、前記分岐部で分岐した前記ポンプ光の入射によってテラヘルツ波を発生させるテラヘルツ波発生アンテナと、前記テラヘルツ波の入射面及び出射面を有し、前記入射面から入射した前記テラヘルツ波を内部で伝播させると共に反射面で全反射させて前記出射面から出射させる内部全反射プリズムと、前記内部全反射プリズムの前記出射面から出射した前記テラヘルツ波と、前記分岐部で分岐した前記プローブ光とが入射し、前記テラヘルツ波と前記プローブ光との間の相関を検出するテラヘルツ波検出アンテナと、を備え、前記内部全反射プリズムの前記反射面に配置された被測定物の光学定数に関する情報を、前記テラヘルツ波の全反射の際に生じる当該テラヘルツ波のエバネッセント成分により取得する全反射分光計測装置であって、前記内部全反射プリズムの前記入射面及び前記出射面には、位置決め用の段差部がそれぞれ設けられ、前記テラヘルツ波発生アンテナは、前記段差部に突き当てられた状態で前記入射面に固定され、前記テラヘルツ波検出アンテナは、前記段差部に突き当てられた状態で前記出射面に固定されていることを特徴とする全反射分光計測装置。

IPC (2件)：

G01N 21/27 , G01N 21/35

FI (2件)：

G01N21/27 C , G01N21/35 Z

Fターム (5件)：

2G059EE02 , 2G059EE10 , 2G059GG01 , 2G059HH01 , 2G059JJ12

引用特許：

審査官引用 (4件)

全反射テラヘルツ波測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-063878 出願人：浜松ホトニクス株式会社
偏光子及びそれを用いた光アイソレータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-342084 出願人：京セラ株式会社
光電界センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-251521 出願人：株式会社東芝

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